[发明专利]光学位移测量系统

权利要求书

1.光学位移测量系统，其特征是包括光源（1）、准直系统（2）、用于标度尺的光栅（3）、分光系统（4）、奇数反射系统（5）、偶数反射系统（6）、合光系统（7）、光电探测器（8）和信号处理系统（9）；光源（1）发出的光经准直系统（2）准直为平行光照明用于标度尺的光栅（3），该光栅（3）的图像经分光系统（4）分成两束，一束入射到奇数反射系统（5），另一束入射到偶数反射系统（6）或直接进入合光系统7，奇数反射系统（5）的入射光经反射进入合光系统（7），偶数反射系统（6）的入射光经反射进入合光系统（7），合光系统（7）将来自奇数反射系统（5）的光束和来自偶数反射系统（6）或直接进入合光系统（7）的光束重叠形成莫尔条纹，莫尔条纹经光电探测器（8）转换为电信号输入到对输入信号进行位移量分析的信号处理系统（9）。

2.按照权利要求1所述的光学位移测量系统，其特征是所述的光源（1）是点光源或激光光源。

3.按照权利要求1所述的光学位移测量系统，其特征是所述的用于标度尺的光栅（3）是透射式光栅或反射式光栅。

4.按照权利要求1所述的光学位移测量系统，其特征是所述的分光系统（4）是半反半透镜。

5.按照权利要求1所述的光学位移测量系统，其特征是所述的奇数反射系统（5）是反射棱镜、反射镜或半反半透镜。

6.按照权利要求1所述的光学位移测量系统，其特征是所述的偶数反射系统（6）是反射棱镜、反射镜或半反半透镜。

7.按照权利要求1所述的光学位移测量系统，其特征是所述的合光系统（7）是半反半透镜。

8.按照权利要求1所述的光学位移测量系统，其特征是所述的光电探测器（8）是面阵探测器或线阵探测器或单点探测头。