[发明专利]一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统有效
| 申请号： | 201410024170.3 | 申请日： | 2014-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN103713379A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 邓超;邢廷文;廖志远;朱红伟;杨雄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B13/18;G02B17/08 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;顾炜 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 数值孔径 反射 投影 光学系统 | ||
1.一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统，用于将位于物平面的图案投影到像平面上，所述大数值孔径的投影光学系统包括第一透镜组（G1）、第二透镜组（G2）、第三反射镜组（G3）、第四透镜组（G4）和第五透镜组（G5），其特征在于：从光束入射方向的第一透镜组（G1）没有光焦度，第二透镜组（G2）具有正光焦度，第三反射镜组（G3）具有负光焦度，第四透镜组（G4）具有正光焦度，第五透镜组（G5）具有正光焦度，所述大数值孔径的投影光学系统包含了二十三片透镜和两片反射镜，且包含有非球面表面。
2.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射的干式投影光学系统，其特征在于：所述的第一透镜组（G1）为一块平行平板。
3.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射的干式投影光学系统，其特征在于：所述的第二透镜组（G2）包括第一弯月正透镜（2）、第二弯月正透镜（3）、第一双凸正透镜（4）、第三弯月正透镜（5）、第一平凸正透镜（6）、第四弯月正透镜（7）、第一弯月负透镜（8）、第五弯月正透镜（9）和第二双凸正透镜（10）。
4.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射的干式投影光学系统，其特征在于：所述的第三反射镜组（G3）包括第一反射镜（11）、第二反射镜（12）两个凹面反射镜。
5.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射的干式投影光学系统，其特征在于：所述的第四透镜组（G4）包括第三双凸正透镜（13）、第二弯月负透镜（14）、第三弯月负透镜（15）、第四弯月负透镜（16）、第六弯月正透镜（17）、第四双凸正透镜（18）、第五双凸正透镜（19）和第五弯月负透镜（20）。
6.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射的干式投影光学系统，其特征在于：所述的第五透镜组（G5）包括第六双凸正透镜（21）、第七双凸正透镜（22）、第七弯月正透镜（23）、第八弯月正透镜（24）和第九弯月正透镜（25）。
7.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射的干式投影光学系统，其特征在于：所述的第四透镜组（G4）和第五透镜组（G5）之间设置有一孔径光阑。
8.如权利要求1所述的大数值孔径的投影光学系统，其特征在于：第一透镜组（G1）、第二透镜组（G2）、第四透镜组（G4）和第五透镜组（G5）均采用SIO2玻璃。
9.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射的干式投影光学系统，其特征在于：所述大数值孔径投影光学系统为双远心系统。
10.如权利要求1所述的大数值孔径的折反射的干式投影光学系统，其特征在于：所述的大数值孔径投影光学系统适用于深紫外照明光源，波长为157nm、193.3nm或248nm的光源。
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