[发明专利]镀金金银钯合金单晶键合丝及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201410024437.9 申请日: 2014-01-20
公开(公告)号: CN103779309A 公开(公告)日: 2014-05-07
发明(设计)人: 徐云管;李湘平;彭庶瑶;梁建华 申请(专利权)人: 江西蓝微电子科技有限公司
主分类号: H01L23/49 分类号: H01L23/49;H01L21/48;C22C5/06;C22F1/14
代理公司: 南昌洪达专利事务所 36111 代理人: 刘凌峰
地址: 343000 江西省吉安*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 镀金 金银 合金 单晶键合丝 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种镀金金银钯合金单晶键合丝,其特征是组成键合丝的材料各成分重量百分比为:金(Au)占1.8%-2.2%、钯(Pd)占0.04%-0.08%、铕(Eu)占0.002%-0.004%、镧(La)占0.001%-0.003%,银(Ag)占97.713%-98.157%。

2.如权利要求1所述的镀金金银钯合金单晶键合丝,其特征是所使用的材料中,金的纯度大于99.99%、银的纯度大于99.9999%、钯的纯度大于99.999%、铕的纯度大于99.9%、镧的纯度大于99.5%。

3.一种权利要求1或2所述的镀金金银钯合金单晶键合丝的制造方法,其特征是其制作的工艺步骤和方法如下:

① 提取高纯银:提取纯度大于99.9999%的高纯银,再经清洗、烘干备用;

② 制备成银合金铸锭:按下述成分含量按照重量百分比准备材料:金占0.9%-1.1%、钯占0.04%-0.08%、铕占0.002%-0.004%、镧占0.001%-0.003%,银占97.713-98.157%,这些金属经机械混合后放入高纯石墨坩埚中,在惰性气体保护条件下使用感应电炉加热使其熔化,进而制备成银合金铸锭;

③ 连铸成铸态金银钯合金单晶母线:将制备好的银合金铸锭加入有氮气保护的水平连铸金属单晶连铸室,应用中频感应加热熔化、精炼和除气后,将熔液注入储液池保温,完成对金银钯合金熔液的水平单晶连铸,得到Φ3mm左右,纵向和横向晶粒数均为1个的铸态金银钯合金单晶母线;

④ 粗拔:将Φ3mm左右的金银钯合金单晶母线拉拔成直径为1mm左右的金银钯合金单晶丝;

⑤ 热处理:将直径为1mm左右的金银钯合金单晶丝进行退火;

⑥ 表面镀金:对经热处理后的金银钯合金单晶丝电镀纯金保护层,电镀用金的纯度要求不低于99.99%,表面镀金层的厚度控制在1μm-1.5μm,经镀金后的镀金金银钯合金单晶丝中金占总重量的百分比为1.8%-2.2%;

⑦ 精拔:将直径为1 mm左右的经镀金后的镀金金银钯合金单晶丝精密拉拔成直径分别为13μm-50μm的镀金金银钯合金单晶键合丝;

⑧ 热处理:将精拔后的镀金金银钯合金单晶键合丝进行退火;

⑨ 表面清洗:先用稀释后的酸液对键合丝进行清洗,然后经超声波清洗,再经高纯水清洗、烘干;

 ⑩分卷:将成品镀金金银钯合金单晶键合丝进行复绕、分卷、包装。

4.如权利要3所述的一种镀金金银钯合金单晶键合丝的制造方法,其特征是:提取高纯银时以国家标准GB/T4135中1号银为基材,经电镀后提取纯度大于99.9999%的高纯银。

5.如权利要3所述的一种镀金金银钯合金单晶键合丝的制造方法,其特征是:表面镀金时电流密度(4-4.5)A/dm2,收线速度为(4-5)m/min。

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