[发明专利]一种制备光滑尖锐AFM-TERS针尖的化学镀方法

权利要求书

1.一种制备光滑尖锐AFM-TERS针尖的化学镀方法，其特征在于包括以下步骤：

（1）AFM针尖的前处理

对AFM针尖表面清洁，以除去表面的杂质和有机物，然后生长或沉积缓冲层；

（2）AFM针尖的表面官能化及晶核的吸附

对前处理后的AFM针尖进行表面官能化，修饰上单分子层，以此来增加待沉积金属和针尖之间的结合力，最后吸附纳米粒子作为晶核，以此来催化金属在针尖表面的还原；

（3）AFM硅针尖化学镀

选择合适的化学镀溶液和施镀条件对吸附晶核的针尖进行化学镀沉积，生长光滑的金属薄层。

2.如权利要求1所述的一种制备光滑尖锐AFM-TERS针尖的化学镀方法，其特征在于还包括步骤（4）针尖TERS活性表征：直接对吸附在金单晶（111）表面的分子进行针尖增强拉曼光谱检测。

3.如权利要求1所述的一种制备光滑尖锐AFM-TERS针尖的化学镀方法，其特征在于所述的AFM针尖为硅针尖或氮化硅针尖。

4.如权利要求1所述的一种制备光滑尖锐AFM-TERS针尖的化学镀方法，其特征在于所述的缓冲层为二氧化硅或氧化铝的至少一种。

5.如权利要求1所述的一种制备光滑尖锐AFM-TERS针尖的化学镀方法，其特征在于步骤（2）所述的官能化采用为巯基硅烷或氨基硅烷中的至少一种。

6.如权利要求1所述的一种制备光滑尖锐AFM-TERS针尖的化学镀方法，其特征在于所述的纳米粒子为金、银、铜、铂、钯中的至少一种。

7.如权利要求6所述的一种制备光滑尖锐AFM-TERS针尖的化学镀方法，其特征在于所述的纳米粒子粒径为1～10nm。

8.如权利要求1所述的一种制备光滑尖锐AFM-TERS针尖的化学镀方法，其特征在于所述的化学镀金属为金、银或铜。

9.如权利要求1所述的一种制备光滑尖锐AFM-TERS针尖的化学镀方法，其特征在于所述的化学镀时间为5～50s。

10.如权利要求1所述的一种制备光滑尖锐AFM-TERS针尖的化学镀方法，其特征在于所述的AFM针尖尖锐，其曲率半径小于24nm。