[发明专利]一种用于PECVD反应腔的绝热导电装置及其应用

权利要求书

1.一种用于PECVD反应腔的绝热导电装置，其特征在于：所述绝热导电装置位于温度高于400℃的PECVD反应腔内，且设置于为基板提供热量的加热板和所述PECVD反应腔的腔体壁之间，所述PECVD反应腔用于制造AMOLED,所述绝热导电装置包括：由绝热材料构成的绝热体和在所述绝热体表面涂覆的导电层，所述导电层内流经高频电磁波，所述导电层的厚度应大于等于导电层材料的趋肤深度。

2.根据权利要求1所述的一种用于PECVD反应腔的绝热导电装置，其特征在于：所述绝热材料为泡沫陶瓷、导电氧化锆、石墨毡中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的一种用于PECVD反应腔的绝热导电装置，其特征在于：所述导电层为不与所述PECVD反应腔内工艺气体反应的金属材料。

4.根据权利要求3所述的一种用于PECVD反应腔的绝热导电装置，其特征在于：所述金属材料为铝或者镍。

5.根据权利要求1所述的一种用于PECVD反应腔的绝热导电装置，其特征在于：所述绝热体为绝热垫圈。

6.一种包含权利要求1的用于PECVD反应腔的绝热导电装置的应用，其特征在于：包含所述绝热导电装置、为基板提供热量的加热板和PECVD反应腔的腔体壁，所述加热板和所述腔体壁之间用所述绝热导电装置进行隔离。

7.一种包含权利要求6的用于PECVD反应腔的绝热导电装置的应用，其特征在于：在所述加热板和所述腔体壁之间设置有热反射板，所述加热板与所述热反射板、所述热反射板与所述腔体壁之间分别用所述绝热导电装置进行隔离。

8.一种包含权利要求7的用于PECVD反应腔的绝热导电装置的应用，其特征在于：所述热反射板数量为1‐5个，相邻的所述热反射板之间用所述绝热导电装置进行隔离。

9.一种包含权利要求7的用于PECVD反应腔的绝热导电装置的应用，其特征在于：所述加热板的加热方式为电阻丝加热、红外加热或者电磁感应加热中的一种。