[发明专利]一种大气压冷等离子体射流对金属材料表面改性的方法

权利要求书

1.一种大气压冷等离子体射流对金属材料表面改性的方法，其特征在于，

所述的冷等离子体射流由裸电极放电的冷等离子体射流发生器产生；冷等离子体射流中高能电子、粒子与环境大气中的水分子、氧气分子发生非弹性碰撞而产生含氧活性粒子；含氧活性粒子与金属材料表面发生化学反应，将含氧官能团引入金属材料表面，形成表面改性处理；处理过程中，保证被处理的金属材料和冷等离子体射流下游端接触。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，冷等离子体射流发生器1的电极分别与高压电源5的高、低压输出端相连；工作气体由工作气体源6经过气源处理装置7和气体质量流量控制器8通入冷等离子体射流发生器1；冷等离子体射流发生器1固定在支架上，将金属材料3放置在射流出口正下方。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述的冷等离子体射流发生器的两电极分别为黄铜材质的喷嘴电极以及钨材质的针电极，两极之间的垂直距离为2.0mm。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述的高压电源5采用中频正弦波交流电源，输出频率50～120kHz，输出电压0～10kV，最大功率150W；高压电源5的高、低压输出端分别接大气压冷等离子体射流发生装置1的中心针电极和喷嘴电极，低压端接地。

5.根据权利要求1-4任一所述的方法，其特征在于，产生冷等离子体射流的过程中，冷等离子体射流发生器中通入的工作气体为氮气、氧气或空气。

6.根据权利要求1-4所述的方法，其特征在于，所述冷等离子体射流垂直作用于金属材料表面。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述冷等离子体射流垂直作用于金属材料表面。