[发明专利]玻璃基板的研磨方法及制造方法、以及研磨装置无效

专利信息
申请号: 201410027681.0 申请日: 2014-01-21
公开(公告)号: CN103934747A 公开(公告)日: 2014-07-23
发明(设计)人: 木村宏;伊藤正文;山口龙;高野茂喜;江面裕行 申请(专利权)人: 旭硝子株式会社
主分类号: B24B37/08 分类号: B24B37/08
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李洋;王培超
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 玻璃 研磨 方法 制造 以及 装置
【权利要求书】:

1.一种玻璃基板的研磨方法,其特征在于,

基于使与研磨装置的平板的研磨面抵接的多个玻璃基板的位置变化的马达的电力或者电流的检测值,对所述玻璃基板的研磨条件进行控制,以使得在所述研磨面中研磨速度差变小。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的研磨方法,其特征在于,

所述研磨面形成为具有内周端和外周端的圆盘形状,

基于所述检测值对所述研磨条件进行控制,以使得所述研磨面的内周端侧和外周端侧的研磨速度差变小。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板的研磨方法,其特征在于,

在判定为所述研磨面的外周端侧的研磨速度高于所述研磨面的内周端侧的研磨速度的情况下,基于所述检测值对所述研磨条件进行控制,以提高所述研磨面的温度;

在判定为所述研磨面的内周端侧的研磨速度高于所述研磨面的外周端侧的研磨速度的情况下,基于所述检测值对所述研磨条件进行控制,以降低所述研磨面的温度。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板的研磨方法,其特征在于,

基于所述检测值判定所述研磨面和与该研磨面抵接的多个玻璃基板之间的抵接状态,并根据该判定结果对所述研磨条件进行控制。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的玻璃基板的研磨方法,其特征在于,

所述研磨装置具有上平板的研磨面和下平板的研磨面,

基于所述检测值对所述研磨条件进行控制,以使得上平板的研磨面和下平板的研磨面之间的距离在研磨面中变得均等。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的玻璃基板的研磨方法,其特征在于,

所述研磨装置具有上平板的研磨面和下平板的研磨面,

所述检测值是利用上平板的研磨面的摩擦力和下平板的研磨面的摩擦力之比对所述马达的电力或者电流的测定值进行修正后的值。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的玻璃基板的研磨方法,其特征在于,

所述马达是对平板、太阳轮、内齿轮中的至少一个进行驱动的驱动马达。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板的研磨方法,其特征在于,

所述检测值是用所述马达中的特定的驱动马达的电力除以所述特定的驱动马达的电力和所述马达中的与所述特定的驱动马达不同的其他驱动马达的电力相加所得的总电力而得的值,或者是用所述特定的驱动马达的电流除以所述特定的驱动马达的电流和所述不同的其他驱动马达的电流相加所得的总电流而得的值。

9.根据权利要求7所述的玻璃基板的研磨方法,其特征在于,

所述检测值是用所述马达中的特定的驱动马达的电力除以所述马达中的与所述特定的驱动马达不同的其他驱动马达的电力而得的值,或者是用所述特定的驱动马达的电流除以所述不同的其他驱动马达的电流而得的值。

10.一种玻璃基板的制造方法,其特征在于,

所述玻璃基板的制造方法具有使用权利要求1至9中任一项所述的玻璃基板的研磨方法的研磨工序。

11.根据权利要求10所述的玻璃基板的制造方法,其特征在于,

所述玻璃基板是磁性记录介质用玻璃基板。

12.一种研磨装置,其特征在于,

所述研磨装置具备:

平板,该平板具有研磨面;

保持件,该保持件能够保持要利用所述研磨面进行研磨的多个玻璃基板;

马达,该马达使所述研磨面与所述保持件之间的相对位置变化;以及

控制部,该控制部基于所述马达的电力或者电流的检测值对所述玻璃基板的研磨条件进行控制,以使得在所述研磨面中研磨速度差变小。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭硝子株式会社,未经旭硝子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410027681.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top