[发明专利]表面精密抛光装置及表面精密抛光用传动装置

权利要求书

1.一种表面精密抛光用传动装置，用以驱动加工机构对加工对象进行精密抛光，其特征在于：包括了定子机构、转子机构和摆子机构，所述转子机构绕所述定子机构的轴心旋转，所述摆子机构与转子机构通过磁悬浮连接，且所述摆子机构通过磁悬浮相对于所述转子机构绕自身的轴心旋转，所述摆子机构的旋转轴心绕所述转子机构的旋转轴心旋转，所述摆子机构与所述加工机构连接。

2.如权利要求1所述的精密抛光用传动装置，其特征在于：所述定子机构与转子机构之间实现磁悬浮连接，所述转子机构通过磁悬浮绕所述定子机构的轴心旋转。

3.如权利要求2所述的表面精密抛光用传动装置，其特征在于：所述转子机构位于所述定子机构的内侧，所述摆子机构位于所述转子机构的内侧。

4.如权利要求2所述的表面精密抛光用传动装置，其特征在于：所述转子机构位于所述摆子机构的内侧，所述定子机构位于所述转子机构的内侧。

5.如权利要求1至4任意之一所述的表面精密抛光用传动装置，其特征在于：所述转子机构为圆柱体结构，所述转子机构中设有圆柱形的孔洞，所述孔洞贯穿所述转子机构的两端面，且所述孔洞的轴心平行于所述转子机构的轴心且不重合，所述定子机构或摆子机构设于所述孔洞内。

6.如权利要求1所述的表面精密抛光用传动装置，其特征在于：所述转子机构为曲轴结构，该曲轴结构上的两个轴销分别通过磁悬浮与所述定子机构和摆子机构连接。

7.如权利要求1所述的表面精密抛光用传动装置，其特征在于：所述定子机构与转子机构之间以及所述转子机构与摆子机构之间均通过电磁轴承组实现磁悬浮连接。

8.如权利要求7所述的表面精密抛光用传动装置，其特征在于：所述电磁轴承组至少包括了水平电磁轴承和竖直电磁轴承。

9.如权利要求1所述的表面精密抛光用传动装置，其特征在于：抛光时，所述摆子机构绕所述转子机构的旋转轴心做周向平移，且所述摆子机构相对于所述定子机构无自转。

10.一种表面精密抛光装置，其特征在于：包括了所述加工机构和权利要求1所述的表面精密抛光用传动装置，所述加工机构至少包括了抛光工具和握持机构，所述加工对象安装于所述握持机构上，所述加工对象在所述握持机构和抛光工具之间实现抛光。

11.如权利要求10所述的表面精密抛光装置，其特征在于：所述抛光工具与所述摆子机构固定连接。

12.如权利要求10所述的表面精密抛光装置，其特征在于：所述握持机构与所述摆子机构固定连接。

13.如权利要求12所述的表面精密抛光装置，其特征在于：所述加工机构还包括了抛光台，所述抛光工具设于所述抛光台上。

14.如权利要求13所述的表面精密抛光装置，其特征在于：所述抛光台通过旋转驱动装置实现自转。