[发明专利]紫外球面微通道板光子计数成像探测器

权利要求书

1.一种紫外球面微通道板光子计数成像探测器，其特征在于，包括：

置于真空壳体（4）内，由上至下设置的光电阴极（2）、微通道板（3）、位置灵敏阳极（5）；

置于真空壳体（4）前端的输入窗（1）；

置于真空壳体（4）后端的带有金属输出电极的金属输出窗（6）；以及

置于真空壳体（4）外部的位置读出电路（7）和计算机图像输出电路（8）；

所述输入窗（1）、与真空壳体（4）、金属输出窗（6）封接为一体形成真空气密的结构；

所述输入窗（1）的内表面上镀有一层能透射紫外线的导电薄膜，所述的光电阴极（2）制作于该导电薄膜上；

所述输入窗（1）及微通道板（3）为曲率半径相同的凸球面形状。

2.根据权利要求1所述的紫外球面微通道板光子计数成像探测器，其特征在于，所述位置灵敏阳极（5）由上至下包括：电阻层（51）、基片（53）以及金属位置灵敏阳极（52）；所述基片（53）的材料为不导电的非金属，厚度为1mm。

3.根据权利要求2所述的紫外球面微通道板光子计数成像探测器，其特征在于，所述金属位置灵敏阳极（52）为延迟线阳极，所述电阻层（51）的方块电阻范围为1MΩ/□～10MΩ/□；所述基片（53）的相对介电常数为大于10。

4.根据权利要求2所述的紫外球面微通道板光子计数成像探测器，其特征在于，所述金属位置灵敏阳极（52）为楔条形阳极；所述电阻层（51）的方块电阻范围为80MΩ/□～100MΩ/□；所述基片（53）的相对介电常数为2～5。

5.根据权利要求1所述的紫外球面微通道板光子计数成像探测器，其特征在于，所述光电阴极（2）与微通道板（3）的真空间隙为0.1mm～0.3mm。

6.根据权利要求1所述的紫外球面微通道板光子计数成像探测器，其特征在于，所述的微通道板（3）与电阻层（51）之间的真空间隙为1mm～3mm。

7.根据权利要求1所述的紫外球面微通道板光子计数成像探测器，其特征在于，所述微通道板（3）为工作在脉冲计数模式的两片或三片微通道板结构。

8.根据权利要求1所述的紫外球面微通道板光子计数成像探测器，其特征在于，所述真空壳体（4）为陶瓷可伐合金外壳。

9.根据权利要求1所述的紫外球面微通道板光子计数成像探测器，其特征在于，所述输入窗（1）的材料为氟化镁或氟化钙，厚度为3mm～5mm；所述的光电阴极（2）的材料为碱卤化合物；所述输入窗（1）内表面上镀有的导电薄膜为100nm厚的铝膜。

10.根据权利要求1所述的紫外球面微通道板光子计数成像探测器，其特征在于，所述金属输出窗（6）为制备有金属电极并适合真空封接的可伐合金件，所述金属电极与所述金属输出窗（6）电绝缘，所述金属输出窗（6）可作为探测器的地。