[发明专利]EUV光刻部件、制备方法和掺杂二氧化钛的石英玻璃

权利要求书

1.一种由掺杂二氧化钛的石英玻璃制成的EUV光刻部件，该石英玻璃包含在垂直于EUV光反射表面的表面中具有至少150毫米的曲率半径的条纹，

其中所述EUV光刻部件在没有热成形的情况下直接由掺杂二氧化钛的石英玻璃锭形成，该石英玻璃锭已经通过区域熔融法进行了均质化处理并在均质化处理后具有至少220mm的直径。

2.权利要求1的部件，其中该掺杂二氧化钛的石英玻璃具有最高850℃的假想温度。

3.权利要求1的部件，其中该掺杂二氧化钛的石英玻璃具有最高20℃的假想温度分布。

4.权利要求1的部件，其是EUV光刻光掩模基板。

5.一种用于制备EUV光刻部件的方法，包括通过区域熔融法使用至少两个燃烧器限制熔融区对掺杂二氧化钛的石英玻璃锭进行均质化处理，和在没有热成形的情况下将它形成为部件的步骤，其中该石英玻璃锭在均质化处理后具有至少220mm的直径。

6.权利要求5的方法，其中通过如下工艺进行均质化处理，该工艺包括：对夹持在两个具有差动旋转的卡盘之间的掺杂二氧化钛的石英玻璃进行区域熔融，使得具有生长轴的玻璃锭在相对的两端由一对可转动的夹持装置夹持，将燃烧器点燃以强烈地加热玻璃锭的一部分从而产生熔融区，然后，使燃烧器在轴向移动，同时将玻璃锭通过左卡盘和右卡盘的差动旋转而扭转，然后，为了搅拌熔融区以除去条纹并使二氧化钛的浓度均匀的均质化处理，在熔融区中，在垂直于燃烧器的移动方向上产生剪切应力。

7.权利要求6的方法，其中均质化处理的轴与玻璃锭生长轴一致。

8.权利要求6的方法，其中在左卡盘和右卡盘之间提供差动旋转的手段是通过逆向旋转卡盘。

9.权利要求6的方法，其中进行均质化处理两次或更多次。

10.一种用于EUV光刻的掺杂二氧化钛的石英玻璃，其包含在垂直于EUV光反射表面的表面中具有至少150毫米的曲率半径的条纹，

其中所述掺杂二氧化钛的石英玻璃用于EUV光刻部件，并且所述部件在没有热成形的情况下直接由掺杂二氧化钛的石英玻璃锭形成，该石英玻璃锭已经通过区域熔融法进行了均质化处理并在均质化处理后具有至少220mm的直径。

11.权利要求10的掺杂二氧化钛的石英玻璃，其具有最高850℃的假想温度。

12.权利要求10的掺杂二氧化钛的石英玻璃，其具有最高20℃的假想温度分布。