[发明专利]用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜及其微器件的制备方法

权利要求书

1.一种用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜，其特征在于：结构式为La_100-x-yCo_xAl_y, 其中x为Co元素的原子百分数，y为Al元素的原子百分数，5≤x≤35,5≤y≤35，25≤x+ y≤50，玻璃转变温度为140℃-240℃,平整度小于两个光圈，粗糙度小于0.5nm，耐腐蚀的三元镧基金属玻璃薄膜。

2.根据权利要求1所述的金属玻璃薄膜，其特征在于：所述的玻璃转变温度最低可达到140℃。

3.根据权利要求1所述的金属玻璃薄膜，其特征在于：所述非晶合金的组成元素La、Co和Al纯度至少分别为99.9%、99.95%、99.95%。

4.一种用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜的制备方法，其特征在于：

步骤1）将纯度至少为99.9%的La，纯度至少为99.95%的Co和纯度至少为99.95%的Al按La_100-x-yCo_xAl_y，其中x为Co元素的原子百分数，y为Al元素的原子百分数，5≤x≤35,5≤y≤35，25≤x+ y≤50，在锆吸附的氩气电弧中电弧熔炼四次以上，获得混合均匀的合金块体，之后将合金块体通过铜模浇铸制备原始靶，最后利用线切割得到符合镀膜要求的靶材；

步骤2）将单晶硅基底和所述的步骤1）获得的靶材放入真空室中，在5×10^-4-6×10^-4Pa的真空度中，通过低压电离氩气以及在靶阴极表面引入磁场，利用直流磁控溅射，以60W的功率，19.5-20.5nm/s的沉积速率获得La-Co-Al金属玻璃薄膜。

5.一种用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜微器件的制备方法，其特征在于，

步骤1）利用聚焦离子束（FIB）技术在单晶硅上加工获得所需微器件的反结构，以此作为模具；

步骤2）利用上述制备La-Co-Al金属玻璃薄膜的方法获得所需膜厚的待加工的La-Co-Al金属玻璃薄膜样品;

步骤3）将已制备好的硅模具和La-Co-Al金属玻璃薄膜样品上下放置在压印机机腔内，设置压力和加热温度，进行热压并保温保压3分钟后撤温撤压，待样品冷却后，将模具和样品分开；

步骤4）在无水乙醇中对制备的样品进行超声清洗，最后获得与模具结构相反的镧基金属玻璃薄膜微器件。

6.一种用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜微器件，其特征在于，在镧基金属玻璃薄膜上获得的具有偏振不敏感特性的二维亚波长透射光栅滤波片,光栅单元为凸起正方形阵列，高度200nm，正方形阵列周期240nm，正方形边长120nm，该滤光片具有对入射光偏振不敏感特性，可以提高入射光的透射率，实现对蓝光的筛选。