[发明专利]一种根据膜层均匀性曲线变化即时可调挡板机构及其调节方法

权利要求书

1.一种镀膜膜层厚度即时可调挡板机构，其特征在于包括安装在真空腔体外壁上的第一转动手柄（A）和第二转动手柄（B）、安装在真空腔体内部的传动机构；所述传动机构包括与所述第一转动手柄（A）依次传动连接的第一齿轮（A1）、第二齿轮（A2）、第一传动轴（1）及第三齿轮（A3）；与第二转动手柄（B）依次传动连接的第五齿轮（B1）、第六齿轮（B2）、第二传动轴（2）及第七齿轮（B3）；以及齿轮箱；所述齿轮箱上安装有齿轮箱第一齿轮（A4）、齿轮箱第二齿轮（B4）、齿轮箱内部齿条轴（4）及挡板（5）；所述齿轮箱第一齿轮（A4）与所述第三齿轮（A3）传动连接；所述齿轮箱第二齿轮（B4）与所述第七齿轮（B3）传动连接；所述齿轮箱第一齿轮（A4）转动带动齿轮箱内部齿条轴（4）前后移动，所述齿轮箱内部齿条轴（4）上连接挡板（5）。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜膜层厚度即时可调挡板机构，其特征在于所述第一转动手柄（A）和第二转动手柄（B）均带有真空密封套。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜膜层厚度即时可调挡板机构，其特征在于所述的挡板（5）具有腰型孔。

4.一种利用权利要求1所述机构进行镀膜膜层厚度即时调节的方法，其特征在于包括以下几个步骤：

第一步、检测靶材溅射后膜层均匀性并分析需要挡板调节位置;

第二步、按照膜层均匀性要求调节腔体外侧大气状态第一转动手柄（A）的旋转方向；

第三步、第一转动手柄（A）转动带动第一齿轮（A1）并由链条牵引第二齿轮（A2）、第一传动轴（1）及第三齿轮（A3）转动，进而牵引齿轮箱内部齿条轴（4）前后移动；

第四步、齿轮箱内部齿条轴（4）前后移动带动挡板（5）前后移动并到达指定位置；

第五步、重复以上步骤可完成挡板（5）另一端移动到达指定位置；

第六步、重新镀膜并测试膜层均匀性；

第七步、分析调整挡板（5）后膜层均匀性并做出是否进一步调整挡板位置；

第八步、调整结束后记录第一转动手柄（A）和第二转动手柄（B）上的手轮刻度并做记录。

5.根据权利要求4所述的调节方法，其特征在于所述第七步之后如果需要进一步调整挡板（5）位置时，重复步骤一至步骤六。