[发明专利]一种直驱光栅尺自动检测装置

权利要求书

1.一种直驱光栅尺自动检测装置，其特征在于：其包括减振平台、驱动平台、夹具（10）和被测光栅尺，减振平台含花岗岩基座（1）及布置在花岗岩基座（1）底部的四个减振垫脚（12），驱动平台包括直线电机Ⅰ（3）、直线电机Ⅱ（14）、滑块（5）、导轨（6）、高精位移传感器（8）、飞车保护（18）和工作台（7）；被测光栅尺包括被测光栅尺读数头（13）和被测光栅尺带（11），直线电机Ⅰ（3）的定子、直线电机Ⅱ（14）的定子、导轨（6）固定布置在花岗岩基座（1）上，直线电机Ⅰ（3）、直线电机Ⅱ（14）位于导轨（6）的两侧且平行设置；直线电机Ⅰ（3）的动子与连接件Ⅰ（4）连接，直线电机Ⅱ（14）的动子与连接件Ⅱ（15）连接，连接件Ⅰ（4）、连接件Ⅱ（15）和滑块（5）均与工作台（7）稳固连接，所述的滑块（5）为两个，连接在导轨（6）上，沿着导轨（6）滑动；在基座（1）的一侧连接有导轨Ⅱ（16），导轨Ⅱ（16）与导轨（6）平行设置；导轨Ⅱ（16）上连接有两个夹具（10）；被测光栅尺读数头（13）通过读数头连接件（17）与工作台（7）连接为一体，被测光栅尺带（11）与两个夹具（10）连接，直线电机Ⅰ（3）的动子和直线电机Ⅱ（14）的动子驱动工作台（7）沿着导轨（6）往复运动，被测光栅尺读数头（13）随着工作台（7）往复运动。

2.根据权利要求1所述的一种直驱光栅尺自动检测装置，其特征在于：高精位移传感器（8）采用高精度光栅尺或者激光干涉仪实时检测工作台（7）和被测光栅尺读数头（13）的精确位移信息，为被测光栅尺读数头（13）检测到的位移信息提供对比和鉴定。

3.根据权利要求1所述的一种直驱光栅尺自动检测装置，其特征在于：夹具（10）可以沿着导轨Ⅱ（16）调节位置，并且夹具（10）可以稳固定位于导轨Ⅱ（16）上的任意位置，夹具（10）适用于装夹在导轨Ⅱ（16）长度范围内任意长度等级的被测光栅尺带（11）。