[发明专利]一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构

权利要求书

1.一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于它包括上、侧和下隔热屏结构，上隔热屏包括多层钼片隔热屏及位于其上的氧化锆纤维砖保温层；侧隔热屏由内向外依次为钼隔热屏、由氧化锆纤维砖制成的氧化锆保温桶和氧化铝纤维砖制成的氧化铝保温桶；下隔热屏包括由多层钼片制成的钼隔热结构及底部由氧化锆和氧化铝纤维砖制成的氧化锆保温层和氧化铝保温层。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于所述的上隔热屏还包括固定支撑结构部分，固定支撑结构部分为单层圆形不锈钢板，多层钼片隔热屏的钼片上开有圆形中心孔和矩形观察孔，固定支撑结构部分、氧化锆纤维砖保温层、多层钼片隔热屏之间采用钼螺栓和配套螺母连接固定。

3.根据权利要求2所述的一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于所述的氧化锆纤维砖保温层为由扇形氧化锆纤维砖拼接的圆环状块体隔热结构，相邻氧化锆纤维砖间由相配合的半圆形定位凹槽与突起固定。

4.根据权利要求3所述的一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于所述的侧隔热屏结构中钼隔热屏由多层钼桶组成，内层钼桶厚度相对外层钼桶厚度较厚。

5.根据权利要求4所述的一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于所述的氧化锆保温桶在高度方向由2层以上氧化锆纤维砖桶拼接而成，整体高度较外层氧化铝保温桶高，每层氧化锆保温桶由氧化锆环瓣拼接而成，相邻氧化锆纤维砖之间由定位凹槽与突起进行固定。

6.根据权利要求5所述的一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于所述的氧化铝保温桶高度与钼隔热屏相同，在高度方向由2层以上氧化铝纤维砖桶拼接而成，每层氧化铝纤维砖桶由氧化铝环瓣拼接而成，相邻纤维砖之间由定位凹槽与突起进行固定。

7.根据权利要求6所述的一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于所述的下隔热屏中钼隔热结构由多层圆形钼片组成，钼片上开有圆形中心孔，钼片间用钼螺栓和配套螺母连接固定。

8.根据权利要求7所述的一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于所述的下隔热屏中底部为中间有与钼隔热结构中钼片圆形通孔直径相同的氧化锆和氧化铝纤维砖的镶嵌结构，氧化锆保温层处于上部，中间有圆形凹槽，凹槽直径为整个大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构直径的一半，氧化铝保温层位于下部，中间有与氧化锆保温层相配合的圆形凸起。