[发明专利]电压调制的周期性亚波长金属光栅滤波器及其制备方法

权利要求书

1.一种电压调制的周期性亚波长金属光栅滤波器，其特征在于：包括两层透明导电玻璃（1）、周期性金属光栅（2）、光电晶体（3）和电场产生装置（4），所述周期性金属光栅（2）上设置有周期性阵列排布的狭缝；所述光电晶体（3）填充在金属光栅（2）的狭缝内，所述两层透明导电玻璃（1）贴合周期性金属光栅（2）上下表面设置，将光电晶体（3）密封固定在金属光栅（2）的狭缝内，所述电场产生装置（4）在两层透明导电玻璃（1）上产生均匀可调的电场，用于改变光电晶体（3）的折射率参数。

2.根据权利要求1所述的电压调制的周期性亚波长金属光栅滤波器，其特征在于：所述周期性金属光栅（2）的厚度为100～1000nm、周期为400～1000nm，狭缝的宽度为100～1000nm，透明导电玻璃（1）的厚度为1～10mm。

3.根据权利要求1所述的电压调制的周期性亚波长金属光栅滤波器，其特征在于：所述透明导电玻璃（1）具体为ITO导电玻璃。

4.根据权利要求1所述的电压调制的周期性亚波长金属光栅滤波器，其特征在于：所述狭缝的形状为矩形、锥形、抛物线形。

5.根据权利要求1所述的电压调制的周期性亚波长金属光栅滤波器，其特征在于：所述光电晶体（3）为磷酸二氢钾、磷酸二氢铵、铌酸锂或钽酸锂。

6.一种电压调制的周期性亚波长金属光栅滤波器的制备方法，其特征在于：包括依次进行的如下步骤：

（1）在一层透明导电玻璃上，利用薄膜工艺制备一层金属薄膜，金属薄膜的厚度为a；

（2）在金属薄膜的表面旋涂一层光刻胶并烘干，光刻胶的厚度为b；

（3）利用刻蚀工艺制备凹槽阵列，形成周期性阵列排布的狭缝，凹槽的深度为a+b；

（4）利用镀膜工艺在凹槽阵列表面镀光电晶体膜，光电晶体膜的厚度为a；

（5）利用清洗液将结构中的光刻胶清洗掉并烘干；

（6）在结构的上表面覆盖另一层透明导电玻璃。