[发明专利]等离子体处理腔室部件的温度受控窗

权利要求书

1.一种电感耦合等离子体处理腔室的温度受控介电窗，其包括：

形成所述等离子体处理腔室的顶壁的介电窗，该介电窗中具有至少第一和第二通道，所述第一和第二通道中的每一个都具有使温度受控液体在所述通道中循环的入口和出口；以及

液体循环系统，其具有在不与所述通道流体连通的第一闭环中循环的冷液体源、在与所述通道流体连通的第二闭环中循环的热液体源，以及至少第一和第二换热器；

所述第一换热器连接至所述冷液体源、所述热液体源和所述第一通道的入口，以使冷液体以可控流速通过所述第一换热器并且随着热液体通过所述第一换热器且随后通过所述第一通道的入口而通过与冷液体进行换热来调节热液体的温度；

所述第二换热器连接至所述冷液体源、所述热液体源和所述第二通道的入口，以使冷液体以可控流速通过所述第二换热器并且随着热液体通过所述第二换热器且随后通过所述第二通道的入口而通过与冷液体进行换热来调节热液体的温度。

2.如权利要求1所述的温度受控介电窗，其中:

所述第一闭环包括主线路、与所述主线路和所述第一换热器流体连通的第一分支线路、与所述主线路和所述第二换热器流体连通的第二分支线路、沿着所述第一和第二分支线路的阀、以及使来自所述第一和第二换热器的冷液体返回到冷液体源的返回线路，

所述液体循环系统包括控制系统，所述控制系统接收来自嵌入到所述介电窗中的热电偶的信号以及来自测量通过所述第一和第二换热器的冷液体的流速的控制阀的信号，以及

所述控制系统操作所述控制阀以控制通过所述第一和第二换热器的冷液体的流速。

3.如权利要求1所述的温度受控介电窗，其中所述介电窗包括陶瓷材料制顶板和陶瓷材料制底板，所述顶板具有在其下表面中的所述第一和第二通道，并且所述顶板和底板通过共烧或者通过粘合而连结。

4.如权利要求3所述的温度受控介电窗，其中所述第一和第二通道具有0.01至0.03英寸的高度以及1至2英寸的宽度。

5.如权利要求1所述的温度受控介电窗，其中所述热液体是介电液体并且所述冷液体是水。

6.如权利要求1所述的温度受控介电窗，还包括覆在所述介电窗的上表面上的歧管，所述歧管具有水平对齐并与所述入口和出口垂直对准的流道以及水平对齐并与所述介电窗的所述上表面中的安装孔垂直对准的安装孔。

7.如权利要求1所述的温度受控介电窗，其中所述介电窗包括在所述介电窗中央的镗孔，所述镗孔被构造成接纳气体喷射器，所述气体喷射器将处理气体输送到所述等离子体处理腔室中。