[发明专利]全单晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 201410040583.0 | 申请日： | 2014-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN103741205A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 水川;许柏 | 申请（专利权）人： | 安徽大晟新能源设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人： | 王琪 |
| 地址： | 237000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅 铸锭 | ||
【权利要求书】：
1.一种全单晶硅铸锭炉，包括炉体、隔热笼、上发热体、下发热体、侧发热体、上坩埚盖板、侧坩埚护板、石英坩埚、热交换台、升降立柱、水冷盘，所述隔热笼内部的上方固定设有上发热体，隔热笼内部的四周固定设有侧发热体，隔热笼中部设有热交换台，热交换台上平面置有石英坩埚，石英坩埚的四周设有侧坩埚护板，侧坩埚护板的上方设有上坩埚盖板，热交换台底部设有下发热体，其特征在于：所述隔热笼为箱体型，固定在炉体内；所述隔热笼内部的下发热体、热交换台与升降立柱连接；上坩埚盖板、侧坩埚护板、石英坩埚、下发热体、热交换台可随升降立柱一起上下移动。
2.根据权利要求1所述的一种全单晶硅铸锭炉，其特征在于：所述隔热笼底部外侧设有水冷盘。
3.根据权利要求1或2所述的一种全单晶硅铸锭炉，其特征在于：所述热交换台为两层结构，下热交换台与下发热体、升降立柱固定连接；上热交换台为活动式，置于下热交换台上平面，其上放置石英坩埚、侧坩埚护板、上坩埚盖板。
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