[发明专利]亚波长矩形单周期光栅结构的制作方法及偶数分束器

权利要求书

1.一种亚波长矩形单周期光栅结构的制作方法，其用于制作可实现偶数分束的亚波长矩形单周期光栅结构，其特征在于，包括如下步骤：

S11、确定入射波波长和光栅基底的材料的折射率；

S13、根据目标偶数分束数构建评价函数：

g(x)=αΣm=-M,M≠0M|η(m)-ηEN|+β×rms+μ|1-ηE|+vη(0)M=N2α+β+μ+v=1ηE=Σm+-M,M≠0Mη(m)rms=Imax-IminImax+Imin,]]>

其中，N为目标偶数分束数，α、β、μ、ν为权重因子，η_E为总衍射效率，rms为光强相对均匀性误差，I_max，I_min分别为N个衍射级中的最大光强和最小光强；

S15、利用严格耦合波理论和全局优化算法，结合所述评价函数，优化获得所述亚波长矩形单周期光栅结构的脊宽、槽宽及深度；

S17、根据所述脊宽、所述槽宽及所述深度，制作所述亚波长矩形单周期光栅结构。

2.如权利要求1所述的亚波长矩形单周期光栅结构的制作方法，其特征在于，所述光栅基底的厚度为所述入射波波长的1～5倍。