[发明专利]硅块表面质量的检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种硅块表面质量的检测装置，用于对硅块表面质量进行检测，所述硅块表面质量的检测装置包括检测器及处理器，所述检测器用于感测所述硅块表面以得到硅块表面的图像信号，所述处理器与所述检测器相互信号连接，所述处理器包括图像处理模块及计算模块，所述图像处理模块用于通过图像处理的方法取得所述检测器检测到的图像的灰度值，所述计算模块分析计算得出灰度值大于预定灰度值的区域面积，并计算得出灰度值大于预定灰度值的区域面积占所述检测器检测到的整个图像面积的比例，得到亮斑比。

2.如权利要求1所述的硅块表面质量的检测装置，其特征在于，所述检测器为数码显微镜，所述检测器的放大倍数在100-200倍之间。

3.如权利要求1所述的硅块表面质量的检测装置，其特征在于，所述硅块表面质量的检测装置还包括显示器，所述显示器与所述处理器信号连通，用于显示所述硅块表面的图像。

4.一种硅块表面质量的检测方法，包括步骤:

提供如权利要求1至3任一项所述的硅块表面质量的检测装置；

将磨面后的硅块放置于工作台；以及

采用检测器对硅块的表面进行检测，所述处理器通过处理及计算得到所述硅块表面的亮斑比。

5.如权利要求4所述的硅块表面质量的检测方法，其特征在于，在进行检测时，所述检测器直接放置于待检测的硅块表面，所述检测器与处理器信号连通，所述检测器将检测到的图像信号传送至处理器，所述处理器的图像处理模块通过图像处理的方法取得所述检测器检测到的图像的灰度值，所述计算模块计算得出灰度值大于预定灰度值的区域面积，并计算得出灰度值大于预定灰度值的区域面积占所述检测器检测到的整个图像面积的比例，得到亮斑比。

6.如权利要求5所述的硅块表面质量的检测方法，其特征在于，所述预定灰度值介于120-200之间。

7.如权利要求4所述的硅块表面质量的检测方法，其特征在于，所述硅块表面质量的检测装置还包括显示器，所述显示器与所述控制器信号连通，在对硅块表面进行检测时，还包括采用所述显示器检测所述检测器检测到的图像。