[发明专利]一种用于加工硬脆基板的激光打孔装置

权利要求书

1.一种用于加工硬脆基板的激光打孔装置，其特征在于，包括有激光头，沿激光头发出的激光脉冲的传输方向依次设置有驱动装置、楔角棱镜、第一反射镜、聚焦镜和载台，硬脆基板放置于载台上，所述激光头是Q开关激光器，所述楔角棱镜与驱动装置固定连接，并且楔角棱镜的出光面为斜面，所述驱动装置开设有导光孔，在驱动装置的带动下，所述楔角棱镜绕导光孔的轴心线转动，所述激光头发出的激光脉冲通过导光孔传输至楔角棱镜，并且经过楔角棱镜折射后，依次通过第一反射镜和聚焦镜传输至硬脆基板。

2.如权利要求1所述的用于加工硬脆基板的激光打孔装置，其特征在于，所述激光头与驱动装置之间设有第二反射镜，所述激光头发出的激光脉冲经过第二反射镜反射后，传输至驱动装置。

3.如权利要求1所述的用于加工硬脆基板的激光打孔装置，其特征在于，所述楔角棱镜的入射光与出射光之间的夹角为0.5°～1°。