[发明专利]管密封方法、油填充用管的密封方法及液封型压力传感器

说明书

技术领域

本发明涉及管的密封方法、液封型压力传感器的油填充用管的密封方法、以及液封型压力传感器。

背景技术

一直以来，作为流体压力检测用的压力传感器，公知有专利文献1（专利第4908411号公报）、专利文献2（日本特开昭58－168930号公报）等所公开的那样的液封型压力传感器。

图12是表示这种液封型压力传感器100的纵向剖视图。

如图12所示，液封型压力传感器100由压力检测元件102、接头部件104以及罩部件106的结合体构成。

压力检测元件102具备金属制的元件主体108，在形成于该元件主体108的中央开口110内嵌入紧固有密封玻璃112。

另外，压力检测元件102的元件主体108、金属制的膜片114、形成有连通孔116的膜片保护罩118通过在它们的外周边缘部进行焊接而固定为一体。

并且，在该结构中，在元件主体108的中央开口110的部分，在密封玻璃112与膜片114之间形成有封入油的液封室120。

另一方面，如图12所示，在密封玻璃112的液封室120一侧的面部，通过粘接剂固定有单片结构的传感器片124。

该传感器片124配设在液封室120内，作为一体地形成有检测压力的压力元件、和处理该压力检测元件的输出信号的集成化的电子电路的压力传感器片而构成。

另外，在密封玻璃112上分别以贯通状态通过密封处理固定有用于对传感器片124进行信号的输入或输出的多个引线脚126、和油填充用管130。

如图12所示，引线脚126通过金制或铝制的线128与传感器片124导通连接，构成传感器片124的外部输出端子、外部输入端子。例如FPC（柔性印刷电路板）134的一端与引线脚126导通连接，FPC134的另一端与接触脚131的一端导通连接。并且，接触脚131的另一端通过例如软钎焊、熔敷等与外部引线132导通连接。

此外，在这种液封型的压力传感器100中，为了向压力传感器100的液封室120填充油而设有油填充用管130。在经由该油填充用管130向液封室120填充了油之后，利用一对按压金属模和承接金属模将作为油导入开口的油填充用管130的前端136压瘪而密封，之后，再通过焊接、软钎焊等进行密封。

并且，如图12所示，设有树脂制的盖部138，以覆盖压力检测元件102。并且，通过对圆筒形状的铆接板140进行铆接加工，将压力检测元件102、接头部件104和罩部件106一体地固定，构成压力传感器100。

另外，罩部件106由例如环氧树脂、硅树脂等密封材料（模制树脂）150模制而成。

此外，树脂制的盖部138与压力检测元件102之间由例如O型密封圈等密封材料142密封。

并且，从通路146传递到压力室148内的流体压力通过膜片保护罩118的连通孔116对膜片114的表面进行押压，利用液封室120内的传感器片124检测该押压力。

现有技术文献

专利文献1：日本专利第4908411号公报

专利文献2：日本特开昭58－168930号公报

专利文献3：日本特开2003－194649号公报

专利文献4：日本特开2000－274974号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，作为如上述那样利用一对按压金属模和承接金属模将油填充用管130的前端136压瘪而密封之后，再利用焊接、软钎焊等进行密封的方法，使用的是将油填充用管130的前端136压瘪成平坦状来形成密封部分，并利用焊接、软钎焊等对密封部分进行密封的方法。

但是，在这样压瘪成平坦状来形成密封部分的压力传感器中，每当施加有流体产生的内压时，都会从内侧作用欲将该压瘪的密封部分打开的力。因此，若反复使用则在密封部分产生疲劳，存在发生破裂而产生液体泄漏的情况，因此不适合用于高压。

因此，在专利文献3（日本特开2003－194649号公报）中，如图13所示在经由油填充用管130向液封室120填充了油之后，将油填充用管130的前端136压瘪成剖面大致U字形状（参照图13（A））、或剖面大致Ｖ字形状来形成密封部分136a（参照图13（B））。

然后，通过焊接、软钎焊、熔敷等对这样压瘪的密封部分136a进行密封。由此，提高了对于因内压引起的压瘪的密封部分136a的打开的耐久性能。