[发明专利]内置多探针模块及其具有该模块的探针台

权利要求书

1.一种内置多探针模块，其特征在于，所述内置多探针模块包括：

底座，所述底座上设置电气测试用印刷电路板和焊接位；

探针，所述探针活动设置在所述底座上，并可根据所述待测试器件之结构调整所述探针在所述底座上的位置排布。

2.如权利要求1所述的内置多探针模块，其特征在于，所述内置多探针模块之探针横向排布在所述底座之两侧，并分别定义为第一探针组和第二探针组，且所述第一探针组和第二探针组的探针的数量均为24。

3.一种具有如权利要求1所述的内置多探针模块之探针台，其特征在于，所述内置多探针模块设置在用于放置所述待测试器件的卡盘上方。

4.如权利要求3所述的探针台，其特征在于，当所述待测试器件进行测试需要12根探针单排布置时，所述第一探针组或者所述第二探针组的12根探针便移动至所述内置多探针模块的中部，凸出以供测试使用。

5.如权利要求3所述的探针台，其特征在于，当所述待测试器件进行测试需要24根探针双排布置时，所述第一探针组和所述第二探针组的各12根探针便分别移动至所述内置多探针模块的中部呈双排布置，凸出以供测试使用。

6.如权利要求3所述的探针台，其特征在于，当所述待测试器件进行测试需要24根探针单排布置时，所述第一探针组和所述第二探针组的各12根探针便移动至所述内置多探针模块的中部呈单排布置，凸出以供测试使用。

7.如权利要求3所述的探针台，其特征在于，当所述待测试器件进行测试需要12根探针单排布置，且探针之针间距加倍时，所述第一探针组或者所述第二探针组之12根呈针间距加倍的探针便移动至所述内置多探针模块的中部，凸出以供测试使用。

8.如权利要求3～7任一权利要求所述的探针台，其特征在于，所述待测试器件为晶圆。