[发明专利]研磨装置

权利要求书

1.一种研磨装置，其特征在于，具有：

研磨台，该研磨台贴附有用于研磨基板的研磨垫；

液体供给部，该液体供给部将液体供给到所述研磨垫的研磨面上；

基板保持部，该基板保持部吸附基板，并从所述研磨面对所述基板进行输送，所述基板夹着由所述液体供给部供给的液体而接触于所述研磨面；以及

控制部，在输送所述基板时，该控制部使流体注入所述基板与所述研磨垫之间。

2.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

在所述研磨垫及所述研磨台上，形成有使所述研磨垫的研磨面与所述研磨台的侧面或背面连通的连通孔，

所述控制部通过所述连通孔将所述流体注入所述基板与所述研磨垫之间。

3.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

在所述研磨垫上，形成有使该研磨垫的研磨面与该研磨垫的侧面连通的连通孔，

所述控制部通过所述连通孔将所述流体注入所述基板与所述研磨垫之间。

4.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

能够喷出所述流体的喷管设在与所述研磨垫的研磨面相对的位置、所述研磨台的外周部的外侧的位置或所述基板的外周部的外侧的位置，所述控制部通过所述喷管将所述流体注入所述基板与所述研磨垫之间。

5.如权利要求2或3所述的研磨装置，其特征在于，

具有：使所述研磨台旋转的驱动部；以及

对所述研磨台的旋转位置进行检测的位置检测传感器，

所述控制部基于由所述位置检测传感器检测出的研磨台的旋转位置，使所述研磨台旋转以使所述连通孔与所述基板的板面相对，在该状态下，通过所述连通孔将所述流体注入所述基板与所述研磨垫之间。

6.如权利要求2或3所述的研磨装置，其特征在于，

所述控制部在通过所述连通孔将所述流体注入所述基板与所述研磨垫之间并对所述基板进行输送后，停止所述流体的注入，并将液体注入所述连通孔。

7.如权利要求1至4中任一项所述的研磨装置，其特征在于，

所述控制部将流体注入所述基板与所述研磨垫之间夹有的液体的内部区域。

8.如权利要求1至4中任一项所述的研磨装置，其特征在于，

所述控制部将流体注入所述研磨垫与所述液体之间，或所述液体与所述基板之间。

9.如权利要求1至4中任一项所述的研磨装置，其特征在于，

所述液体是用于所述基板的研磨的研磨磨液，或是用于所述基板的清洗的清洗液。

10.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述流体是气体。