[发明专利]一种用于LED基底曝光的夹持装置有效
| 申请号： | 201410043854.8 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN104810315B | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 方洁;李志龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 led 基底 曝光 夹持 装置 | ||
1.一种用于LED基底曝光的夹持装置，其特征在于，包括：
吸盘，所述吸盘的上表面为平面结构；所述吸盘中部有一基底吸附面；
真空吸附口，均匀分布在所述基底吸附面上，所述真空吸附口的直径为0.2mm-1mm；
基底交接装置，安装于所述吸盘内部；
所述吸盘吸附一蓝宝石双抛基底时，所述基底交接装置的上表面与所述基底吸附面齐平。
2.如权利要求1所述的用于LED基底曝光的夹持装置，其特征在于，所述基底交接装置包括：吸附头、气缸滑杆和气缸体；其中，
所述吸附头和气缸滑杆固定连接；
在所述气缸体通正压后，所述吸附头和气缸滑杆在所述气缸体中做上下运动。
3.如权利要求1所述的用于LED基底曝光的夹持装置，其特征在于，所述基底交接装置包括：吸附头、气缸滑杆和电机；其中，
所述吸附头和气缸滑杆固定连接，所述气缸滑杆和电机固定连接；
在所述电机给定不同的电流后，所述吸附头和气缸滑杆做出相应的抬升力。
4.如权利要求1所述的用于LED基底曝光的夹持装置，其特征在于，所述基底交接装置包括：吸附头和波纹管；其中，
所述吸盘吸附所述蓝宝石双抛基底时，所述波纹管被所述蓝宝石双抛基底下压，所述吸附头与所述蓝宝石双抛基底地面贴合；
在所述波纹管通正压后，所述吸附头被抬起。
5.如权利要求2-4中任一所述的用于LED基底曝光的夹持装置，其特征在于，所述吸盘的上表面和吸附头的上表面均设置为黑色，且选用同种材料和表面处理工艺。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
