[发明专利]一种测校长程电机导轨非正交性方法有效
| 申请号： | 201410043858.6 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN104807399B | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 唐彩红 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 校长 电机 导轨 正交 方法 | ||
1.一种测校长程电机导轨非正交性方法，其特征在于，包括：
步骤一：将定位台Y向的伺服测量系统设置为编码尺，X向伺服测量系统设置为干涉仪；
步骤二：将定位台沿X向运动，其余自由度均设为零；
步骤三：在运动过程中采样获取X向编码尺读数、X向干涉仪读数以及Y向干涉仪读数；
步骤四：根据X向编码尺读数和X向干涉仪读数，拟合计算编码尺坐标系X向相对干涉仪坐标系X向的增益；同时根据X向干涉仪读数和Y向干涉仪读数，拟合计算编码尺坐标系X向相对干涉仪坐标系X向之间的夹角；
步骤五：将定位台Y向的伺服测量系统设置为干涉仪，X向伺服测量系统设置为编码尺；
步骤六：将定位台沿Y向运动，其余自由度均设为零；
步骤七：在运动过程中采样获取Y向编码尺读数、Y向干涉仪读数以及X向干涉仪读数；
步骤八：根据Y向编码尺读数和Y向干涉仪读数，拟合计算编码尺坐标系Y向相对干涉仪坐标系Y向的增益；同时根据Y向干涉仪读数和X向干涉仪读数，拟合计算编码尺坐标系Y向相对干涉仪坐标系Y向之间的夹角，即可获取所述导轨的非正交性。
2.如权利要求1所述的测校长程电机导轨非正交性方法，其特征在于，步骤二中所述将定位台沿X向运动具体为将定位台沿X向从最小值运动到最大值；步骤六中所述将定位台沿Y向运动具体为将定位台沿Y向从最小值运动到最大值。
3.如权利要求1所述的测校长程电机导轨非正交性方法，其特征在于，根据定位台运动速度、运动行程、缓存区容量和伺服周期获得X向或Y向的所述采样的频率。
4.如权利要求3所述的测校长程电机导轨非正交性方法，其特征在于，通过以下公式获得采样频率f，
其中，int表示取整；K表示一预设的系数，K>1；S表示运动行程，V表示运动速度，T表示伺服周期，N表示缓存区容量。
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