[发明专利]图案形成装置及图案形成方法

权利要求书

1.一种图案形成装置，其特征在于，

具有：

第一保持单元，其对在一面上担载有图案形成材料的橡皮布，以使所述图案形成材料的担载面朝上的水平姿势进行保持；

第二保持单元，其将用于对所述图案形成材料进行图案成形的版或者要被转印图案的基板作为处理对象物，以使该处理对象物与被所述第一保持单元保持的所述橡皮布的上表面接近并相向的方式，保持该处理对象物；

托起单元，其从所述橡皮布的下表面侧局部地托起所述橡皮布中央部的有效区域，来使所述有效区域与被所述第二保持单元保持的所述处理对象物相抵接，而且沿着所述橡皮布的下表面移动来使所述橡皮布的托起位置发生变化。

2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，

所述托起单元将所述橡皮布的下表面的在一个轴方向上比所述有效区域的长度长的区域一同托起，并且所述托起单元从所述有效区域的与该轴方向垂直的方向上的一端朝向另一端沿一个方向移动。

3.根据权利要求2所述的图案形成装置，其特征在于，

所述托起单元具有：托起辊，其沿着所述轴方向延伸设置；移动部，其一边支撑所述托起辊并能够使所述托起辊自由旋转，一边向与所述轴方向垂直的方向移动。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

所述第一保持单元以使所述有效区域的下方开放的状态保持所述橡皮布的周缘部。

5.根据权利要求4所述的图案形成装置，其特征在于，

所述第一保持单元具有环状的保持框，该保持框具有与所述有效区域相对应的开口，并且该保持框的与所述橡皮布的所述周缘部相对应的上表面为平面，所述第一保持单元保持载置于该保持框上的所述橡皮布。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

所述图案形成装置具有用于与所述橡皮布的下表面局部抵接的辅助保持单元。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

所述第二保持单元具有板状构件，该板状构件的下表面为平面尺寸大于等于所述处理对象物的平面尺寸的平面，使所述处理对象物的上表面与该板状构件的下表面抵接来保持该处理对象物。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

所述第一保持单元具有抵接部，该抵接部的上表面为平坦且平面尺寸大于所述橡皮布的所述有效区域的平面尺寸的抵接面，通过该抵接面与所述橡皮布的下表面抵接来保持所述橡皮布，随着所述托起单元移动，所述抵接部向所述托起单元的移动方向移动。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

所述第一保持单元具有多个局部支撑部，多个该局部支撑部分别与所述橡皮布的下表面局部抵接来从下表面侧支撑所述橡皮布的所述有效区域，

多个所述局部支撑部沿着所述托起单元的移动方向排列设置，且能够彼此独立地进行升降。

10.一种图案形成方法，其特征在于，

包括：

保持工序，将用于对图案形成材料进行图案成形的版或者要被转印图案的基板作为处理对象物，将该处理对象物保持为使处理对象面朝下的水平姿势，并且将在一面上担载有所述图案形成材料的橡皮布保持为所述图案形成材料的担载面朝上的水平姿势且使所述图案形成材料的担载面与所述处理对象物的下表面接近并相向；

托起工序，从所述橡皮布的下表面侧局部托起所述橡皮布中央部的有效区域，来使所述有效区域与所述处理对象物相抵接，而且沿着所述橡皮布的下表面，使所述橡皮布的托起位置发生变化。

11.根据权利要求10所述的图案形成方法，其特征在于，

在所述保持工序中，以使所述有效区域的下方开放的状态保持所述橡皮布的周缘部。

12.根据权利要求10所述的图案形成方法，其特征在于，

在所述托起工序中，将所述橡皮布的下表面的在一个轴方向上比所述有效区域的长度长的区域一同托起，并且使托起位置从所述有效区域的与该轴方向垂直的方向上的一端朝向另一端沿一个方向发生变化。

13.根据权利要求12所述的图案形成方法，其特征在于，

在所述保持工序中，保持所述橡皮布的与所述轴方向相垂直的方向上的两端的周缘部。