[发明专利]样本制备镜台

权利要求书

1.一种多轴样本制备镜台，包括：

主体样本保持器，其配置成围绕与所述主体样本保持器的方向平行的第一主体轴而旋转样本位置，并且还围绕与所述主体样本保持器的方向垂直的主体翻转轴而旋转所述样本位置；以及

栅样本保持器，其用于保持与所述主体样本保持器相邻的样本栅，并且配置成围绕与所述栅样本保持器的方向平行的第一栅轴，以及与所述栅样本保持器的方向垂直的栅翻转轴，而旋转所述样本栅，

其中，所述第一主体轴延伸穿过所述主体样本保持器。

2.根据权利要求1所述的多轴样本制备镜台，还包括与所述主体样本保持器和所述栅样本保持器接触的热控制系统。

3.根据权利要求2所述的多轴样本制备镜台，其中，所述热控制系统包括一系列的辊，所述辊配置成允许所述多轴样本制备镜台在360度或更大角度中旋转。

4.根据权利要求2所述的多轴样本制备镜台，其中，所述热控制系统配置成将所述栅样本保持器和主体样本保持器的温度减小至-150ºC或更低的温度。

5.根据权利要求1所述的多轴样本制备镜台，其中，所述主体样本保持器和栅样本保持器配置成保持栅、圆片或管子中的至少一个。

6.根据权利要求1所述的多轴样本制备镜台，其中，所述主体样本保持器或所述栅样本保持器配置成旋转360度。

7.根据权利要求1所述的多轴样本制备镜台，还包括用于执行STEM显微术的检测器。

8.一种具有聚焦离子束柱和扫描电子显微镜柱的双束系统，包括权利要求1的多轴样本制备镜台。

9.一种制备样本的原位中方法，包括：

提供权利要求1所述的多轴样本制备镜台；

从存储在所述主体样本保持器中的样本来切割薄片；以及

将所述薄片从所述主体样本保持器转移到在所述栅样本保持器上的栅。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，切割薄片包括使用聚焦离子束以从主体样本的关注区域切割薄片。

11.根据权利要求9所述的方法，其中，操纵器通过将所述操纵器的尖端焊接到所述薄片而附接到所述薄片。

12.根据权利要求9所述的方法，还包括将所述薄片成像。

13.根据权利要求9所述的方法，还包括旋转所述薄片以确定所述薄片是否包括玻璃质或结晶的冰。