[发明专利]多功能光学传感器单元

权利要求书

1.一种光学传感器单元(118、300、604、1500、1600、1700)，其包括：

第一反射结构(200、1502、1602、1702)，其配置为与光纤(126、302)关联；

第二反射结构(202、1510、1610、1710)；以及

腔系统(204)，其位于所述第一反射结构(200、1502、1602、1702)和所述第二反射结构(202、1510、1610、1710)之间；

其中所述腔系统(204)包括密封腔(210、406、1402、1506、1606、1706)。

2.权利要求1所述的光学传感器单元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述第一反射结构(200、1502、1602、1702)和所述腔系统(204)包括在所述第一反射结构(200、1502、1602、1702)和所述腔系统(204)之间的腔(1616、1716)和通道(1614、1714)；并且

其中所述第二反射结构(202、1510、1610、1710)和所述腔系统(204)包括在所述第二反射结构(202、1510、1610、1710)和所述腔系统(204)之间的腔(1622、1722)和通道(1620、1720)。

3.权利要求1所述的光学传感器单元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述腔系统(204)由一组腔组成。

4.权利要求1所述的光学传感器单元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述腔系统(204)包括单个腔。

5.权利要求1所述的光学传感器单元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述第一反射结构(200、1502、1602、1702)、所述第二反射结构(202、1510、1610、1710)以及所述腔系统(204)在衬底上形成，该衬底选自硅衬底和绝缘体上的硅衬底中的一个。

6.权利要求1所述的光学传感器单元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述光学传感器单元(118、300、604、1500、1600、1700)配置为产生对光信号(128、502)的响应(130、503)，其包括与温度(120)、压力(122)和折射率(124)中的至少一个有关的信息(132)。

7.权利要求1-6任一项所述的光学传感器单元(118、300、604、1500、1600、1700)，其进一步包括：

测量系统(110)，其配置为将光信号(128、502)经过所述光纤(126、302)发送至光学所述传感器单元(118、300、604、1500、1600、1700)并检测由所述光学传感器单元(118、300、604、1500、1600、1700)产生的对所述光信号(128、502)的响应(130、503)。

8.权利要求7所述的光学传感器单元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述光纤选自多模光纤和单模光纤中的一种。

9.权利要求1至6任一项所述的光学传感器单元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述第一反射结构(200、1502、1602、1702)、所述第二反射结构(202、1510、1610、1710)和所述腔系统(204)配置为产生与温度(120)、压力(122)或折射率(124)有关的信息(132)。

10.权利要求1所述的光学传感器单元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述第一反射结构(200、1502、1602、1702)对温度(120)变化敏感，和所述第二反射结构(202、1510、1610、1710)对压力(122)变化敏感。