[发明专利]利用白噪声PSD校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法有效
| 申请号： | 201410050122.1 | 申请日： | 2014-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN103983204A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王占山;马爽;蒋励;沈正祥 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200092*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 噪声 psd 校准 光学 表面 轮廓仪 有效 空间 分辨率 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种利用白噪声功率谱密度(PSD)校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法，其特征在于：使用被校准设备光学表面轮廓仪的三个不同倍数物镜对光学元件表面测试，描绘其结果在对数坐标下的功率谱密度(PSD)曲线。
2.根据权利要求1所述的校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法，其特征在于：利用MATLAB模拟各个物镜下，测试结果白噪声的功率谱密度(PSD)曲线。
3.根据权利要求1所述的校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法，其特征在于：将MATLAB模拟结果和光学元件表面测试结果相对比，符合模拟结果部分去掉，余下部分为有效空间频率范围。
4.根据权利要求1所述的校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法，其特征在于：使用不同光学元件进行重复试验，验证结果的重复性和准确性。
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