[发明专利]支撑机台

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示制造技术领域，特别涉及支撑机台。

背景技术

液晶显示技术发展至今已经相当成熟，各个面板公司的主要竞争越来越趋向于良率的提升和成本的下降。

在液晶制造的光刻（Array Photo）工序采用线性涂胶机（Linear Coater）进行涂胶，为保证光刻胶膜厚需要将玻璃基板（Glass）真空吸附在涂胶机台（Coater Stage）并保证平稳。在涂胶机台中一般设置有在厚度方向贯穿的销槽，支撑销（Lift Pin）就位于销孔中，在取放玻璃基板时将玻璃基板顶起。

支撑销作为取放玻璃基板的重要器件，容易受到外力而弯曲，以至于在升降过程里中与销孔发生滑动摩擦，产生微粒（Particle），Particle被带到涂胶机台的表面，从而可能吸附到玻璃基板上，造成液晶面板的Shell Mura，并且当玻璃基板上吸附的微粒过大过多时甚至会引起防护性报警（Defect Alarm），影响良品率。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明是为了克服现有技术中涂胶机台的支撑销与销槽发生滑动摩擦而产生微粒的问题，从而防止液晶面板产生Shell Mura。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种支撑机台，包括若干个销孔，销孔中容纳有可以上下移动的支撑销，销孔的孔壁上设置有至少一个凹槽，凹槽容纳有滚珠，所述滚珠在凹槽内自由滚动，所述滚珠位于容纳在销孔中的支撑销周围，并且凹槽的形状和大小使得每个滚珠可以在凹槽中滚动并使每个滚珠始终有一部分突出于销孔的孔壁。

优选地，凹槽为互不连通的不完整球窝状，且每个凹槽中容纳一个滚珠。

优选地，凹槽为水平的圆环槽道，且每个圆环槽道容纳多个滚珠。

优选地，所述滚珠的直径大于圆环槽道的宽度。

优选地，每个销孔中设置有多条所述的圆环槽道，每条圆环槽道上容纳有多个滚珠。

优选地，在每个销孔两端附近的孔壁上分别设置有一条所述的圆环槽道。

优选地，凹槽为与销孔壁一体成型。

优选地，滚珠和支撑销之间存在缝隙，使得支撑销在不受力偏折时，滚珠和支撑销不发生接触。

优选地，每个滚珠的大小相同。

优选地，滚珠由陶瓷制成。

（三）有益效果

本发明提供的支撑机台，在销孔壁中设置凹槽和在凹槽中可以自由滚动的滚珠，将支撑销偏折或弯曲时与销孔壁的滑动摩擦转化为与滚珠的滚动摩擦，这样可以减少微粒的产生，使吸附到液晶面板的微粒大为减少，从而防止液晶面板产生Shell Mura，提高液晶面板产品的良率。

附图说明

图1为本发明的支撑机台的竖直方向局部剖视图；

图2为根据本发明一个实施例的支撑机台的一个销孔在其圆环槽道处的水平方向的局部剖视图。

图3为根据本发明又一个实施例本发明的支撑机台的一个销孔在其圆环槽道处的水平方向的局部剖视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。

图1为本发明的支撑机台的竖直方向局部剖视图，图2为本发明的支撑机台的一个销孔在其圆环槽道处的水平方向的局部剖视图。支撑机台1表面水平，用于放置基板。本发明相对于现有技术的改进之处在于销孔的构造，因此在下面重点介绍销孔的构造。

支撑机台1包括至少一个销孔2，销孔2中容纳有可以上下移动的支撑销3，销孔2的孔壁上设置有凹槽4，凹槽4容纳有若干个滚珠5，所述滚珠5在凹槽4内自由滚动，所述凹槽4设置在支撑销3周围，并且凹槽4的形状和大小使得每个滚珠5可以在凹槽4中滚动并使每个滚珠5始终有一部分突出于销孔2的孔壁。在图1中还示出了支撑销3安装在一个升降机6上，通过升降机6可以控制支撑销3的升降。

由于在销孔2的凹槽中设置有可以滚动的滚珠5，当支撑销3在受到外力使其运动轨迹发生倾斜时，可以通过滚珠5将支撑销与销孔壁接触时的滑动摩擦转化为与滚珠5的滚动摩擦，这样可以减少微粒的产生，使吸附到基板上的微粒大为减少，从而防止液晶面板产生Shell Mura，提高液晶面板产品的良率。

当然，本支撑机台也可以应用到其他产品的生产过程中，均可以起到减少生产过程中由于摩擦产生的微粒，减小对产品的污染和影响。