[发明专利]内置式CCD安防监控滤光片的制备方法

权利要求书

1.内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：将玻璃片加工成：455mm×355mm×0.55mm-60mm×60mm×0.55mm的玻璃基片；

步骤2：步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗，去除表面的灰尘、脏印及其他有机或无机的吸附物；

步骤3：将步骤2所得玻璃基片进行干燥；

步骤4：在局部100级超净的环境中，将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上，再转移到镀膜伞上，进入真空室进行烘烤以及抽真空；

步骤5：将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜，得半成品；

步骤6：将半成品裁切成客户需要的小尺寸，得成品；

步骤7：对成品进行清洗、检验，最后包装入库。

2.根据权利要求1所述的内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，所述步骤3的干燥方式是洁净强冷风干燥。

3.根据权利要求1所述的内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，所述步骤5中采用光控和晶控相结合的技术控制膜沉积的厚度。

4.根据权利要求1所述的内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，所述步骤5中的真空镀膜过程中，对沉积参数进行动态跟踪并根据实时状态进行动态修正。

5.根据权利要求4所述的内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，所述沉积参数包括真空度、折射率和沉积速率。