[发明专利]微波离子源及其启动方法有效
| 申请号： | 201410053592.3 | 申请日： | 2014-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN103996591A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 高桥伸明;村田裕彦 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H01J27/16 | 分类号： | H01J27/16 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微波 离子源 及其 启动 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种微波离子源，其特征在于，具备：
等离子体室；
磁场发生器，用于在所述等离子体室产生磁场；及
控制部，将所述磁场发生器控制成，对所述等离子体室施加用于等离子体点火的初始磁场，且在等离子体点火后使所述初始磁场变更为普通磁场。
2.根据权利要求1所述的微波离子源，其特征在于，
所述初始磁场被设定为在所述等离子体室引起电子回旋共振。
3.根据权利要求2所述的微波离子源，其特征在于，
所述等离子体室具备用于接受微波的窗、及离子引出开口，
所述初始磁场从所述窗遍及所述离子引出开口具有平坦的磁场分布。
4.根据权利要求3所述的微波离子源，其特征在于，
所述普通磁场是比从所述窗遍及所述离子引出开口满足电子回旋共振条件的磁场高的磁场。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的微波离子源，其特征在于，
所述控制部将所述磁场发生器控制成，在向所述等离子体室供给微波之前开始施加所述初始磁场。
6.一种微波离子源的启动方法，其特征在于，具备：
对微波离子源的等离子体室施加用于等离子体点火的初始磁场的步骤；及
在等离子体点火后使所述初始磁场变更为普通磁场的步骤。
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