[发明专利]用于化学气相沉积的等离子炬在审
| 申请号： | 201410054579.X | 申请日： | 2014-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN104302082A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 李国华;王志娜;高亮 | 申请（专利权）人： | 河北普莱斯曼金刚石科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京神州华茂知识产权有限公司 11358 | 代理人： | 吴照幸 |
| 地址： | 050081 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 化学 沉积 等离子 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于化学气相沉积的等离子炬，包括上部的阴极、位于阴极正下部的阳极、同心套装在阴极外部的圆筒形辅助电极，其特征是：所述的辅助电极至少一个，阴极和辅助电极之间设有隔离密封环，相邻的辅助电极之间设有隔离密封环，最外层辅助电极外部套装有磁场线包，所述的阳极为环形的中空管，并连接有进出水导管。
2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的等离子炬，其特征是：所述的阳极的横截面为方形，或者为圆形。
3.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的等离子炬，其特征是：所述的辅助电极下部加宽。
4.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的等离子炬，其特征是：所述的隔离环密封环由耐热的绝缘材料制成，其上开有进气道，其中至少有一个是切向进气。
5.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的等离子炬，其特征是：所述的辅助电极由双层金属管焊接而成，内设水冷夹层。
6.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的等离子炬，其特征是：所述的辅助电极不接电源的正极或负极。
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