[发明专利]荧光标记的原位再活化

权利要求书

1.一种对样本进行加工的方法，包括：

a. 将该样本放置在真空室内；

b. 排空该真空室；

c. 暴露出该样本的新表面；

d. 照亮该新表面内的荧光标记，同时通过在该新表面处局部地提供蒸气来在该真空室内保持背景真空压强，其中该背景真空压强低于该新表面处的局部蒸气压强；

e. 获取该新表面内的所述荧光标记的光学图像；以及

f. 重复步骤c至e。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括形成所暴露的每个新表面的电子束图像。

3.如权利要求1或权利要求2所述的方法，其中，暴露出该样本的新表面包括：通过将聚焦离子束引导向该样本、通过将激光束引导向该样本或者通过使用显微切片机对该样本进行切割来清除掉材料。

4.如权利要求1或权利要求2所述的方法，其中，在该新表面处局部地提供蒸气包括使用纳米毛细管提供液体。

5.如权利要求2所述的方法，其中在该新表面处局部地提供蒸气包括使用纳米毛细管提供液体，所述方法进一步包括：

使该纳米毛细管接触到该新表面以便在光学成像之前引起来自该纳米毛细管的液体流动；以及

在形成该电子束图像之前打断该纳米毛细管与该新表面之间的接触。

6.如权利要求2所述的方法，进一步包括：对所述电子束图像进行组合以形成该样本的三维展示。

7.如权利要求1或权利要求2所述的方法，其中，在该新表面处局部地提供蒸气包括通过注气系统提供蒸气。

8.如权利要求1或权利要求2所述的方法，进一步包括将该样本冷却到比-20^oC更冷。

9.如权利要求1或权利要求2所述的方法，进一步包括将该样本加热到比60^oC更热。

10.如权利要求1或权利要求2所述的方法，其中，该新表面处的局部蒸气压强大于1 ×10^-2毫巴，同时该真空室内的背景真空压强小于5 × 10^-3毫巴。

11.一种在真空室内对样本进行检查的方法，包括：

在该真空室内提供具有至少一个荧光标记的样本；

将该真空室排空至小于1 × 10^-2毫巴的压强；

通过在荧光标记处局部地提供蒸气来增加荧光标记的活性，其中局部地提供所述蒸气将所述荧光标记处的压强增加到大于真空室内的背景压强；

通过将所述样本暴露于照亮辐射来激励所述荧光标记，同时所述荧光标记处的压强大于所述真空室内的背景压强；以及

对从该荧光标记发射出来的光进行检测。

12.如权利要求11所述的方法，其中，在所述荧光标记处局部地提供增蒸气包括对来自纳米毛细管的液体进行分配，该液体蒸发以提供该蒸气。

13.如权利要求12所述的方法，其中，对来自纳米毛细管的液体进行分配包括：对来自具有小于20 µm的直径的纳米毛细管的液体进行分配。

14.如权利要求11至13中任一项所述的方法，进一步包括：使用扫描电子显微术形成该样本的图像。