[发明专利]波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备。

背景技术

公知有使用波长可变干涉滤波器来测定入射的光的光谱的装置。

在专利文献1中记载的可变干涉装置公开了使反射膜作为驱动用电极而发挥功能的结构、以及使反射膜作为静电电容监视器而发挥功能的结构。

【先行技术文献】

【专利文献】

专利文献1：日本特开平1-94312号公报

在上述专利文献1的构造中，对于使反射膜作为驱动用电极、静电电容监视器而发挥功能则需要布线与反射膜连接的连接电极。

反射膜为了兼具光的透过特性和反射特性的厚度尺寸而相对于连接电极形成得较薄。

但是，在重叠形成了厚的膜厚的连接电极和薄的膜厚的反射膜的情况下，由于热等外在因素、随时间变化，所以存在薄的膜厚的反射膜的金属原子在连接电极侧扩散而发生断线这样的问题。

发明内容

本发明为了解决上述问题而提出，其可以作为以下的实施方式或适用例而实现。

[适用例1]本适用例涉及的波长可变干涉滤波器具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置于所述第一基板，反射入射的光的一部分并使一部分透过；第二反射膜，设置于所述第二基板，与反射入射的光的一部分并使一部分透过的所述第一反射膜相对配置；导电性的第一导电膜，层叠于所述第一反射膜；导电性的第二导电膜，层叠于所述第二反射膜；第一连接电极，设置于所述第一基板，在所述第一基板上与所述第一导电膜电连接；以及第二连接电极，设置于所述第二基板，在所述第二基板上与所述第二导电膜电连接，所述第一连接电极的厚度尺寸形成得大于所述第一反射膜的厚度尺寸和所述第一导电膜的厚度尺寸的和，所述第一连接电极从所述第一基板的表面延伸至所述第一导电膜的外缘部的表面并接触，所述第二连接电极的厚度尺寸形成得大于所述第二反射膜的厚度尺寸和所述第二导电膜的厚度尺寸的和，所述第二连接电极从所述第二基板的表面延伸至所述第二导电膜的外缘部的表面并接触。

根据该结构，第一连接电极从第一基板的表面延伸至第一导电膜的外缘部的表面并接触，第一连接电极的厚度尺寸也大于第一反射膜及第一导电膜的厚度尺寸的和。

并且，第二连接电极从第二基板的表面延伸至第二导电膜的外缘部的表面并接触，第二连接电极的厚度尺寸也大于第二反射膜及第二导电膜的厚度尺寸的和。

这样，通过第一导电膜、第二导电膜连接厚度尺寸小的第一反射膜、第二反射膜、以及厚度尺寸大的第一连接电极、第二连接电极。

通过设置该第一导电膜、第二导电膜，从而可以确保连接部中的第一反射膜、第二反射膜和第一反射膜、第二反射膜之间的电连接。并且，可以防止第一导电膜、第二导电膜从连接部中的第一反射膜、第二反射膜向第一连接电极、第二连接电极的金属原子的扩散，且可以抑制布线的断线。

据此，可以确保第一反射膜和第一连接电极之间的导通、第二反射膜和第二连接电极之间的导通，且可以提高布线的连接可靠性。

[适用例2]在上述适用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选至少所述第一连接电极及所述第二连接电极中的一个与所述第一导电膜或所述第二导电膜的外缘部的整周接触。

根据该结构，第一连接电极、第二连接电极覆盖第一导电膜、第二导电膜的外缘部的整周而接触。

据此，可以降低布线连接中的电阻抗，且可以进行良好的连接。

[适用例3]在上述适用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述第一导电膜及所述第二导电膜是透明导电膜。

根据该结构，第一导电膜及第二导电膜是透明导电膜。

据此，可以通过不会损坏第一反射膜及第二反射膜的透光特性的方式形成导电膜。

[适用例4]在上述适用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述第一导电膜及所述第二导电膜的材料是从铟类氧化物、锡类氧化物、锌类氧化物及他们的混合物中选择的材料。

根据该结构，第一导电膜及所述第二导电膜的材料是从铟类氧化物、锡类氧化物、锌类氧化物及他们的混合物中选择的材料。

通过使用这些材料作为第一导电膜及第二导电膜，从而可以有效地防止从第一反射膜、第二反射膜向第一驱动电极、第二驱动电极的扩散。并且，通过使用这些材料，从而可以从制造工序中的药液中保护第一反射膜、第二反射膜。

[适用例5]在上述适用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述第一反射膜及所述第二反射膜的材料是Ag或以Ag为主成分的合金。