[发明专利]铁氧体薄膜形成用组合物及铁氧体薄膜的形成方法

权利要求书

1.一种铁氧体薄膜形成用组合物，用于通过溶胶-凝胶法形成以（Ni_1-xZn_xO）_t（Fe₂O₃）_s、（Cu_1-xZn_xO）_t（Fe₂O₃）_s或（Ni_0.80-yCu_0.20Zn_yO）_t（Fe₂O₃）_s表示组成的铁氧体薄膜，其中，所述x满足0＜x＜1，所述y满足0＜y＜0.80，所述s、t分别满足0.95≤s≤1.05、0.95≤t≤1.05，且满足s+t=2，

该组合物含有：

金属原料、及

含N-甲基吡咯烷酮的溶剂，

将所述组合物总量设为100质量%时，所述N-甲基吡咯烷酮的比例为30～60质量%。

2.根据权利要求1所述的铁氧体薄膜形成用组合物，其中，

所述金属原料为Ni、Zn、Cu或Fe的金属醇盐、乙酸盐、环烷酸盐或硝酸盐。

3.根据权利要求1或2所述的铁氧体薄膜形成用组合物，其中，

以所述（Ni_1-xZn_xO）_t（Fe₂O₃）_s表示组成的铁氧体薄膜中，所述x在0.10≤x≤0.65的范围内。

4.根据权利要求1或2所述的铁氧体薄膜形成用组合物，其中，

以所述（Cu_1-xZn_xO）_t（Fe₂O₃）_s表示组成的铁氧体薄膜中，所述x在0.20≤x≤0.80的范围内。

5.根据权利要求1或2所述的铁氧体薄膜形成用组合物，其中，

以所述（Ni_0.80-yCu_0.20Zn_yO）_t（Fe₂O₃）_s表示组成的铁氧体薄膜中，所述y在0.20≤y≤0.40的范围内。

6.一种铁氧体薄膜的形成方法，其通过溶胶-凝胶法利用权利要求1至5中任一项所述的铁氧体薄膜形成用组合物来进行成膜。