[发明专利]化学品中央共酸系统用连接装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体生产设备技术，尤其涉及一种化学品中央共酸系统用连接装置。

背景技术

半导体生产所需的化学品要求是高洁净度的，一般生产所需的化学品大多是通过化学品中央共酸系统供应到使用机台的。化学品中央共酸系统中的化学品都是专门的生产厂商提供的使用200升的化学品盛装桶盛装的，故化学品中央共酸系统与化学品盛装桶之间必须有连接装置才能顺利的将化学品输送到使用机台。

为了保证化学品盛装桶内的化学品的品质要求化学品盛装桶内的化学品不能与空气接触，需氮封供应，化学品中央共酸系统为了能进行取样和检查系统本身的状态，配备了供液管道、回液管道及补气管道，供液管道通过供液端连接装置与化学品盛装桶连接，回液管道及补气管道通过回液端连接装置与化学品盛装桶连接，其中需要通过补气管道向化学品盛装桶内补充氮气以保证化学品盛装桶内正压，以保证化学品中央共酸系统的泵浦运行时，容器不会因为内部的化学品被抽空而导致化学品盛装桶变形。

现有的连接装置，密封不严密，从而易导致化学品喷出，并影响化学品盛装桶内化学品的品质。

发明内容

本发明提供一种化学品中央共酸系统用连接装置，以提高密封效果。

本发明提供一种化学品中央共酸系统用连接装置，包括：

固定体，所述固定体中沿轴向设有液体通道，所述液体通道的第一端用于连通化学品中央共酸系统的供液管道或回液管道，所述液体通道第二端用于与化学品盛装桶内连通；

旋转体，套设在所述固定体上并能够相对于所述固定体转动，所述旋转体包括操作部分和螺纹部分，所述螺纹部分的第一端与所述操作部分朝向所述液体通道的第二端的端部连接，所述螺纹部分用于与化学品盛装桶的端口螺纹连接，所述操作部分与螺纹部分之间设有第一密封圈，用于在所述旋转体与所述端口之间形成密封，所述螺纹部分的第二端与所述固定体之间设有第二密封圈；

驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述旋转体沿所述固定体的轴向运动，使所述螺纹部分的第二端与所述固定体配合压紧所述第二密封圈，以在所述旋转体与所述固定体之间形成密封。

基于上述，本发明提供的化学品中央共酸系统用连接装置，在使用过程中，将化学品中央共酸系统的供液管道或回液管道与液体通道的第一端连通，并将液体通道的第二端放置于化学品盛装桶的端口中，从而使化学品盛装桶与供液管道或回液管道连通，之后通过对旋转体的操作部分施力，使旋转体相对于固定体旋转，从而使螺纹部分与化学品盛装桶的端口螺纹连接，由于操作部分与螺纹部分之间设有第一密封圈，因此在旋紧过程中第一密封圈能够在旋转体与端口之间形成密封，之后通过驱动装置驱动旋转体沿固定体的轴向运动，由于螺纹部分的第二端与固定体之间设有第二密封圈，因此能够使螺纹部分的第二端与固定体配合压紧第二密封圈，从而在旋转体与固定体之间形成密封，由此实现了连接装置与化学品盛装桶之间的完全密封，达到了良好的密封效果，避免了化学品喷出，保证了化学品盛装桶内化学品的品质。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种化学品中央共酸系统用连接装置的使用状态示意图；

图2为本发明实施例提供的一种化学品中央共酸系统用连接装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的另一种化学品中央共酸系统用连接装置的结构示意图。

附图标记：

100：连接装置； 101：固定体； 102：液体通道；

103：旋转体； 104：操作部分； 105：螺纹部分；

106：第一密封圈； 107：第二密封圈； 108：驱动装置；

109：限位卡环； 110：气体通道； 201：供液管道；

202：回液管道； 203：补气管道； 301：化学品盛装桶。

具体实施方式