[发明专利]用于电子注分析仪的电子枪热测系统及其监测校正方法

权利要求书

1.一种用于电子注分析仪的电子枪热测系统，其特征在于，包括：

主真空腔体；

电子枪，位于所述主真空腔体内，包括：沿主真空腔体轴向依次设置的阳极、栅极和阴极，其中，所述阳极固定于主真空腔体的前端，所述栅极呈圆环形；

同心轴组件，其一端插入所述主真空腔体内，另一端延伸于所述主真空腔体外，包括：内外相套的阴极内同心轴和栅极外同心轴，所述阴极内同心轴位于主真空腔体内的一端，用于固定所述阴极；所述栅极外同心轴位于主真空腔体内的一端，用于固定用于支撑栅极的栅极支筒；

光学平台，位于所述主真空腔体外，用于支撑和驱动所述阴极内同心轴和栅极外同心轴；

光学监测系统，用于通过开设于所述主真空腔体上的透明观察窗与所述栅极支筒侧面的狭长通透孔来监测电子枪中阴极和栅极的位置；以及

碰零电路，分别通过设置于所述主真空腔体上的馈电头与真空腔体内的阳极和栅极相连接，用于校正所述阳极和栅极的相对位置。

2.根据权利要求1所述的电子枪热测系统，其特征在于，所述狭长通透孔沿其轴向开设于所述栅极支筒上，在该狭长通透孔的上和/或下侧，标记有轴向刻度或特征点；

所述透明观察窗开设于所述主真空腔体上与所述狭长通透孔的对应位置，通过所述透明观察窗和狭长通透孔的组合，能够观察到在预设范围内移动的阴极端面以及狭长通透孔上和/或下侧所刻的刻度或特征点。

3.根据权利要求2所述的电子枪热测系统，其特征在于，所述光学监测系统包括：望远镜，正对所述望远镜设置的CCD相机或光学测温仪；其中：

由所述望远镜和光学测温仪的组合，透过所述观察窗和狭长通透孔，对准阴极端面，读取阴极的温度；

由所述望远镜和CCD相机的组合，透过所述透明观察窗和狭长通透孔，观察在预设范围内移动的阴极端面以及狭长通透孔上和/或下侧所刻的刻度或特征点。

4.根据权利要求2所述的电子枪热测系统，其特征在于，所述狭长通透孔呈长方形，其宽度介于1.5mm至2.0mm之间，其长度介于10mm至15mm之间。

5.根据权利要求2所述的电子枪热测系统，其特征在于，还包括：

点弧灯，设置于所述主真空腔体内、所述透明观察窗的上方，用于照亮所述栅极支筒上的所述狭长通透孔、刻度或特征点及阴极端面。

6.根据权利要求3所述的电子枪热测系统，其特征在于，所述碰零电路包括：

第二多头低压馈电头，位于所述主真空腔体上，所述电子枪阳极通过第一段真空绝缘导线连接于该第二馈电头的位于所述主真空腔体内侧的一端；

多头高压馈电头，位于所述主真空腔体上，所述电子枪栅极通过第二段真空绝缘导线连接于该多头高压馈电头的位于所述主真空腔体内侧的一端；以及

欧姆表，其一端连接至第二馈电头的位于所述主真空腔体外侧的一端，另一端连接至所述多头高压馈电头的位于所述主真空腔体外侧的一端。

7.根据权利要求6所述的电子枪热测系统，其特征在于，所述欧姆表在实施碰零功能时，关闭与多头高压馈电头相连接的用于产生阴极和阳极之间电压的高压电源的情况下接入碰零电路，在此状态以外的其他情况下碰零电路处于断开状态。

8.根据权利要求6所述的电子枪热测系统，其特征在于，所述光学平台包括：阴极伺服电机系统和栅极伺服电机系统，分别用于支撑所述阴极内同心轴及栅极外同心轴，并使之分别能在轴向进行水平移动，并且，所述阴极伺服电机系统安装在所述栅极伺服电机系统之上。