[发明专利]蒸发设备

说明书

蒸发设备包括坩埚体、加热部、喷嘴部和多个隔热板。在坩埚体中容纳沉积材料。加热部蒸发容纳于坩埚体中的沉积材料。喷嘴部具有至少一个喷孔，沉积材料通过该喷孔喷射。多个隔热板被设置在坩埚体内以将坩埚体划分为多个容纳空间，并且分隔板具有开口，容纳空间通过开口而彼此相通。

技术领域

本发明的一个方面涉及蒸发设备。

背景技术

在显示装置中，有机发光显示器（OLED）使用通过电子和空穴的复合而生成光的有机发光二极管来显示图像。OLED具有快速响应速度且以低功耗驱动。因此，OLED作为下一代显示装置而备受瞩目。

通常，为了制造OLED，应执行在基板上形成由有机材料制成的薄膜的沉积工艺。如果装载于坩埚中的沉积材料被加热，则被蒸发的沉积材料的蒸汽穿过预定的掩模图案而安装在基板上。

发明内容

根据本发明的一个方面，提供了一种蒸发装置，其包括坩埚体、加热部、喷嘴部以及多个分隔板，其中坩埚体配置成在其中容纳沉积材料，加热部配置成蒸发容纳在坩埚体中的沉积材料，喷嘴部配置成具有至少一个喷孔，沉积材料通过喷嘴部喷射，以及多个分隔板设置在坩埚体内部以将坩埚体分为多个容纳空间，多个分隔板具有开口，容纳空间通过开口而彼此相通。

分隔板和坩埚体可以具有不同的热导率。

多个分隔板可以具有不同的热导率。

多个分隔板可以包括：第一分隔板和第二分隔板，第一分隔板具有低于坩埚体的第一热导率的第二热导率，第二分隔板具有高于第一热导率的第三热导率。

各个分隔板可以包括：配置成具有第一热导率的第一表面、以及配置成具有不同于第一热导率的第二热导率的第二表面，第二表面与第一表面相对。

每个分隔板具有的开口的大小或数量可与其它分隔板不同。

分隔板可以被设置成可附接至坩埚体/与坩埚体可分开。

坩埚体可以包括钛，分隔板可以包括铜。

蒸发设备还可以包括：安装在坩埚体的侧部处的隔热板。

坩埚体的底部表面可以形成为具有不同高度。

位于坩埚体的边缘部处的底部表面可以形成为比位于坩埚体的中心部处的底部表面高。

附图说明

将在下文参照附图更全面地描述示例性实施方式；然而，示例性实施方式可以以不同的形式实现并且不应被解释为限制于本文所提及的实施方式。相反，提供这些实施方式以使本公开是彻底和完整的，并且将示例性实施方式的范围充分传达给本领域技术人员。

在附图中，为了清楚地图示可放大尺寸。应该理解，当一个元件被称为位于两个元件“之间”时，该元件可以是两个元件之间的唯一元件，或者还可存在一个或多个中间元件。在全文中，相同的参考标记指示相同的元件。

图1是根据本发明的第一实施方式的蒸发设备的示意性截面图。

图2是图1的蒸发设备的平面图。

图3是示出设置在坩埚体内的分隔板的图。

图4A、图4B、图4C和图4D是示出分隔板的各实施方式的图。

图5是示出坩埚体的另一实施方式的截面图。

具体实施方式

在以下详细描述中，通过示例的方式仅示出并描述本发明的某些示例性实施方式。如本领域技术人员应理解，在不背离本发明的精神或范围的情况下可以以多种不同的方式修改所描述的实施方式。因此，附图和描述本质上被视为说明性的，而非限制性的。