[发明专利]一种防止晶圆放置时发生漂移的热板

权利要求书

1.一种防止晶圆放置时发生漂移的热板，包括热板本体（10），

其特征在于：所述热板本体（10）设有贯通孔（11），所述贯通孔（11）上下贯穿热板本体（10）；

还包括设置于热板本体（10）上的若干个防漂移部件（20），所述防漂移部件（20）包括金属柱（21）和硬质金属丝（22），所述硬质金属丝（22）的直径小于金属柱（21）的直径，并垂直固定于金属柱（21）的顶部，所述防漂移部件（20）设置在以热板本体（10）的中心为圆心、以晶圆半径的四分之一至四分之三中任意值为半径的热板本体（10）的圆周上，所述防漂移部件（20）在贯通孔（11）内能够相对于热板本体（10）上下调整高度，至所述硬质金属丝（22）的顶部露出热板本体（10）的正面，且所有所述硬质金属丝（22）的端点等高。

2.根据权利要求1所述的热板，其特征在于：所述硬质金属丝（22）的顶部露出热板本体（10）的正面的高度h为0.1～0.3mm。

3.根据权利要求1所述的热板，其特征在于：所述圆周的圈数为1～3圈，所述防漂移部件（20）在每个圆周上均匀设置3～4个。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的热板，其特征在于：所述金属柱（21）的柱壁设有外螺纹、贯通孔（11）的内壁设有内螺纹，金属柱（21）通过螺纹相对于贯通孔（11）上下旋动，并带动硬质金属丝（22）上下移动。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的热板，其特征在于：所述贯通孔（11）由孔Ⅰ（111）和垂直连接于孔Ⅰ（111）上的孔Ⅱ（112）构成，所述孔Ⅰ（111）与孔Ⅱ（112）的中心轴重合，所述孔Ⅱ（112）的直径大于硬质金属丝（22）的直径且小于孔Ⅰ（111）的直径，所述金属柱（21）位于孔Ⅰ（111）内、硬质金属丝（22）位于孔Ⅱ（112）内且所述硬质金属丝（22）的长度大于孔Ⅱ（112）的深度。

6.根据权利要求5所述的热板，其特征在于：所述金属柱（21）的柱壁设有外螺纹、孔Ⅰ（111）的内壁设有内螺纹，金属柱（21）通过螺纹相对于孔Ⅰ（111）上下旋动，并带动硬质金属丝（22）于孔Ⅱ（112）内上下移动。

7.根据权利要求6所述的热板，其特征在于：所述孔Ⅰ（111）的深度小于热板本体（10）的厚度。

8.根据权利要求7所述的热板，其特征在于：所述孔Ⅰ（111）的深度为热板本体（10）的厚度的九分之二至九分之四。

9.一种防止晶圆放置时发生漂移的热板的成形方法，其工艺过程如下：

步骤一：测绘取得热板本体（10）的厚度；

步骤二：在热板本体（10）的背面打孔Ⅰ（111）；

步骤三：在热板本体（10）的正面，对应孔Ⅰ（111）的圆心处打孔Ⅱ（112）；

步骤四：在热板本体（10）上设置若干个如权利要求1至8中任一项所述的防漂移部件（20），并调整所有所述防漂移部件（20）至硬质金属丝（22）的端点等高。

10.根据权利要求9所述的防止晶圆放置时发生漂移的热板的成形方法，其特征在于：所述防漂移部件（20）通过如下步骤形成：

在所述金属柱（21）的顶端圆心上打孔Ⅲ（211），并将硬质金属丝（22）通过孔Ⅲ（211）垂直嵌入并固定于金属柱（21）中。