[发明专利]一种基于褶皱的金属表面纳米结构制备方法有效
申请号: | 201410057975.8 | 申请日: | 2014-02-20 |
公开(公告)号: | CN103789741A | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | 刘前 | 申请(专利权)人: | 苏州华维纳纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/20;B82Y40/00 |
代理公司: | 苏州慧通知识产权代理事务所(普通合伙) 32239 | 代理人: | 丁秀华 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 褶皱 金属表面 纳米 结构 制备 方法 | ||
1.一种基于褶皱的金属表面纳米结构制备方法,其特征在于所述制备方法包括如下步骤:a、选取基底;b、在所选基底上形成聚合物薄膜,并进行烘干处理,得到该聚合物薄膜的厚度为5100nm;c、在步骤b所得的聚合物薄膜上形成金属薄膜,其厚度为220nm;d、采用原子力显微镜在步骤c所得的金属薄膜表面进行图案化扫描;e、将步骤d所得的产物加热至所述聚合物薄膜的玻璃化转变温度。
2.根据权利要求1所述的基于褶皱的金属表面纳米结构制备方法,其特征在于:所述步骤b中聚合物薄膜的厚度优选为510nm。
3.根据权利要求1所述的基于褶皱的金属表面纳米结构制备方法,其特征在于:所述步骤b中的聚合物薄膜材料为聚苯乙烯。
4.根据权利要求1所述的基于褶皱的金属表面纳米结构制备方法,其特征在于:所述步骤b中的烘干处理温度为聚合物玻璃化转化温度,或者低于聚合物玻璃化转化温度。
5.根据权利要求1所述的基于褶皱的金属表面纳米结构制备方法,其特征在于:所述步骤c中的金属薄膜材料为锡或银。
6.根据权利要求4所述的基于褶皱的金属表面纳米结构制备方法,其特征在于:在所述步骤c中采用真空气相沉积法制备锡薄膜或者银薄膜。
7.根据权利要求1所述的基于褶皱的金属表面纳米结构制备方法,其特征在于:在所述步骤d中采用原子力显微镜的悬臂梁对金属表面进行图案扫描。
8.根据权利要求1所述的基于褶皱的金属表面纳米结构制备方法,其特征在于:所述步骤a中的基底为载玻片、单晶硅片、石英玻璃、导电玻璃或者普通玻璃。
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