[发明专利]一种基于MEMS弹簧的微型减振平台

权利要求书

1.一种基于MEMS弹簧的微型减振平台，其特征在于，所述的基于MEMS弹簧的微型减振平台包括：上层单元隔振平台1，上层平面弹簧2，上层减振胶3，中层单元隔振平台4，中层平面弹簧5，中层减振胶6，下层单元隔振平台7，下层平面弹簧8和边框9。其中，在每层单元隔振平台的四周设置有相应的平面弹簧，在上层和中层单元隔振平台的下表面分别均匀涂有减振胶，在三层平面弹簧的外围设置边框9。

2.如权利要求1所述的基于MEMS弹簧的微型减振平台，其特征在于，所述的基于MEMS弹簧的微型减振平台中除了减振胶外，其余结构的材料为硅。

3.如权利要求1所述的基于MEMS弹簧的微型减振平台，其特征在于，所述的三层单元隔振平台为正方形平台，厚度通常在微米到毫米量级。每层之间的间隔由上至下逐层加大，间隔距离通常在微米到毫米量级。每层单元隔振平台由四个中心对称的MEMS平面弹簧与边框连接。

4.如权利要求1所述的基于MEMS弹簧的微型减振平台，其特征在于，所述的上层单元隔振平台1的上表面安装需要减振的器件，下表面涂减振胶。

5.如权利要求1所述的基于MEMS弹簧的微型减振平台，其特征在于，所述的中层单元隔振平台4的下表面涂减振胶，上表面有凸台阵列，凸台为圆柱或多边形柱中的一种，高度通常在微米到毫米量级。

6.如权利要求1所述的基于MEMS弹簧的微型减振平台，其特征在于，所述的下层单元隔振平台7的上表面有凸台阵列，凸台为圆柱或多边形柱中的一种，高度通常在微米到毫米量级。

7.如权利要求1所述的基于MEMS弹簧的微型减振平台，其特征在于，所述的MEMS平面弹簧为L型平面弹簧，U型平面弹簧和蛇型平面弹簧中的一种，厚度与隔振平台相同，与隔振平台之间的间隔通常在微米到毫米量级。

8.如权利要求1所述的基于MEMS弹簧的微型减振平台，其特征在于，所述的减振胶为树脂型或橡胶型材料。均匀涂胶后的厚度通常在微米到毫米量级。