[发明专利]板状被搬送物的传送方法、传送装置及图案形成装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种将由第一保持器件保持的板状被搬送物传送至第二保持器件的板状被搬送物的传送方法及传送装置、以及配备该传送装置的图案形成装置。

背景技术

作为制造电子零件的发明，以往已知有例如日本专利特开2010-158799号公报中记载的发明。该日本专利特开2010-158799号公报中记载的发明是将平板橡皮布(blanket)固定在下部载台的上表面，另一方面，在使形成有图案的面朝向下方的状态、即正面朝下状态下，利用上部载台吸附固定凸版，自设置在下部载台的中心附近的开口部喷射压缩气体，挤出平板橡皮布。以此方式使橡皮布加压接触于凸版，将凸版的图案转印至平板橡皮布。

发明内容

[发明要解决的课题]

为了以此方式使凸版保持在上部载台，搬送机器人等搬送器件必须将凸版以正面朝下状态搬送至上部载台的正下方后，传送至上部载台。因此，搬送机器人的机械手必须避开形成在凸版上的图案地支撑凸版，因而，支撑着凸版的下表面周缘部、例如外周边缘10[mm]以内的周缘区域保持凸版。其结果，成为凸版的中央部弯曲成圆锥状的状态。当凸版尺寸相对较小时，凸版的弯曲量小，不会对自搬送机器人的机械手对上部载台的传送造成大的障碍，但随着凸版尺寸增大，弯曲量也变大，从而难以良好地将凸版自搬送机器人传送至上部载台。这种问题不仅在将凸版抵住平板橡皮布，将凸版的图案转印至平板橡皮布的情况下会产生，而且在以下情况下也会产生，即，由上部载台吸附固定基板而代替吸附固定凸版，将平板橡皮布抵住基板，将平板橡皮布上的图案转印至基板。即，随着凸版或基板等板状被搬送物大型化，当将板状被搬送物自搬送机器人等第一保持器件传送至上部载台等第二保持器件时，因板状被搬送物弯曲而难以良好地进行所述传送。

本发明是鉴于所述课题而完成，其目的在于提供一种技术，此技术可将由第一保持器件以支撑下表面周缘部的状态保持的板状被搬送物良好地传送至第二保持器件，该第二保持器件是在第一保持器件的上方吸附保持板状被搬送物的上表面。

[解决课题的手段]

本发明的板状被搬送物的传送方法是将由第一保持器件以支撑下表面周缘部的状态保持的板状被搬送物传送至第二保持器件，该第二保持器件是在第一保持器件的上方吸附保持板状被搬送物的上表面，该板状被搬送物的传送方法的特征在于包括：第一吸附步骤，使第一吸附构件自上下方向贯穿地设置在第二保持器件的第一贯穿孔下降，吸附保持由第一保持器件保持的板状被搬送物的上表面的第一吸附位置；第二吸附步骤，使第二吸附构件从与第一贯穿孔不同的位置处上下方向贯穿地设置在第二保持器件的第二贯穿孔下降，吸附保持板状被搬送物的上表面中与第一吸附位置不同的第二吸附位置；及移动步骤，使保持着板状被搬送物的第一吸附构件及第二吸附构件升起，分别后退至第一贯穿孔内及第二贯穿孔内，使板状被搬送物自第一保持器件移动至第二保持器件。

而且，本发明的板状被搬送物的传送装置是将由第一保持器件以支撑下表面周缘部的状态保持的板状被搬送物传送至第二保持器件，该第二保持器件是在第一保持器件的上方吸附保持板状被搬送物的上表面，且该板状被搬送物的传送装置的特征在于包括：第一吸附构件及第二吸附构件，吸附保持板状被搬送物的上表面；及升降机构，使第一吸附构件沿着第一移动路径升降，该第一移动路径通过上下方向贯穿地设置在第二保持器件的第一贯穿孔，并且使第二吸附构件沿着第二移动路径升降，该第二移动路径通过在与第一贯穿孔不同的位置处上下方向贯穿地设置在第二保持器件的第二贯穿孔；且，升降机构是使第一吸附构件及第二吸附构件下降，分别利用第一吸附构件及第二吸附构件吸附保持由第一保持器件保持的板状被搬送物的上表面中相互不同的第一吸附位置及第二吸附位置之后，使第一吸附构件及第二吸附构件通过上升而后退至第一贯穿孔内及第二贯穿孔内，使板状被搬送物自第一保持器件移动至第二保持器件。