[发明专利]图案形成装置及图案形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及通过版对担载于橡皮布上的图案形成材料进行图案成形，或者将所形成的图案转印至基板来形成图案的图案形成装置以及图案形成方法。

背景技术

存在如下在玻璃基板、半导体基板等基板上形成图案的技术，即，使担载有图案的橡皮布紧贴于基板上来将图案转印至基板。另外，存在如下使图案担载于橡皮布上的技术，即，使版（负片版（negative plate））压力接触由图案形成材料形成在橡皮布表面上的均匀的膜上，使该膜中的不需要的部分附着于版上来除去，从而仅将成为图案的部分留在橡皮布上来进行图案形成（图案成形）。

作为这样的一个技术，例如将日本特开平07-125179号公报所记载的印刷技术应用于图案转印中。例如在日本特开2002-036499号公报所记载的技术中，将向一个方向赋予张力来架设在机架上的版以相对于基板倾斜的状态配置在基板的上方，通过冲压辊将版从一端部依次按压于基板上，然后剥离版，从而将版上的图案转印至基板。

在上述现有技术中，版和基板的对位精度有改进的余地。即，在上述技术中，为了使辊抵接，需要以使版的上表面开放的状态保持版，为了防止版因自重而弯曲从而与基板发生接触的情况，必须使版和基板之间的初始空隙大到某种程度。因此，在从该状态下使两者接近来按压的过程中容易产生位置偏移。另外，在基板和版接近的一端侧能够进行对位，但是在另一端侧不能进行对位，另外，从一端依次按压的过程中，可能使位置偏移逐渐变大。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供如下技术，即，在使版或者基板与橡皮布抵接来进行图案形成的图案形成装置以及图案形成方法中，能够使版或者基板与橡皮布以高的位置精度抵接。

本发明的图案形成装置，为了达到上述目的，具有：第一保持单元，具有多个分别与橡皮布的下表面的局部抵接的局部支撑部，多个所述局部支撑部以一面上担载有图案形成材料的所述橡皮布的所述图案形成材料的担载面朝上的方式在下表面侧与所述橡皮布相抵接，从而将所述橡皮布支撑为水平姿势；第二保持单元，将用于对所述图案形成材料进行图案成形的版或者要被转印图案的基板作为处理对象物，以使该处理对象物与被所述第一保持单元保持的所述橡皮布的上表面接近且相向的方式，保持该处理对象物；托起构件，从所述橡皮布的下表面侧局部地托起所述橡皮布中央部的有效区域，来使所述有效区域与被所述第二保持单元保持的所述处理对象物相抵接，而且沿着所述橡皮布的下表面移动来使所述橡皮布的托起位置发生变化；升降单元，能够使多个所述局部支撑部分别单独地升降。

在这样构成的发明中，从以相向的方式配置在处理对象物（版或者基板）的下方的橡皮布的下表面侧局部托起橡皮布，从而使橡皮布抵接于处理对象物。在这样的结构中，在保持上侧所配置的处理对象物时，不受到特别的限制，因此能够在抑制弯曲的状态下保持。另一方面，配置于下侧的橡皮布在中央部开放的状态下，可能因自重而向下方弯曲。因此，在本发明中，使局部支撑部从橡皮布的下表面抵接于橡皮布的中央部的局部。由此，能够防止橡皮布弯曲并维持水平姿势。

因此，与现有技术相比，能够使处理对象物和橡皮布更加接近，将两者之间的间隙设定为极其小的值。另外，能够使处理对象物和橡皮布以彼此平行的方式配置。因此，能够在这样使两者接近的状态下进行对位，并且在接近的状态下托起橡皮布来使其抵接于处理对象物的相对移动量小，因此还能够将它们之间的位置偏移抑制得小。

多个局部支撑部能够分别单独地升降，因此能够彼此独立地与橡皮布分离或抵接。因此，能够使随着托起构件移动而可能成为该托起构件移动的障碍的局部支撑部与橡皮布分离并退避，不会使局部支撑部干涉托起构件的移动。

从这一点来说，根据本发明，能够使作为处理对象物的版或者基板与橡皮布以高的位置精度相抵接。此外，这里所说的处理对象物和橡皮布之间的抵接是指如下概念，即，包含隔着担载于橡皮布的担载面的图案材料使两者相抵接的情况。

例如能够在局部支撑部分别与橡皮布的下表面抵接的状态下，随着托起构件移动而使局部支撑部分别依次下降。更具体地说，例如多个局部支撑部能够沿着托起构件的移动方向排列，升降单元以沿着托起构件的移动方向的顺序使局部支撑部下降。这样能够在托起构件未到达的位置上通过局部支撑部支撑橡皮布，另一方面，随着托起构件接近，使局部支撑部下降，从而能够避免托起构件和局部支撑部发生干涉。