[发明专利]一种平面透射电镜样品及其制备方法无效
| 申请号： | 201410059926.8 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN103868769A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 陈强 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平面 透射 样品 及其 制备 方法 | ||
1.一种平面透射电镜样品，其特征在于，包括样品本体、目标和油性材料，所述样品本体上加工有截面，所述目标位于所述样品本体的截面上，所述油性材料为透光的油性材料，所述油性材料与所述样品本体的截面连接，所述油性材料涂覆于所述目标之上。
2.如权利要求1所述的平面透射电镜样品，其特征在于，所述截面与所述目标的距离为1～5微米。
3.如权利要求2所述的平面透射电镜样品，其特征在于，所述油性材料的厚度为10～100微米。
4.如权利要求3所述的平面透射电镜样品，其特征在于，所述油性材料为油性油墨。
5.如权利要求4所述的平面透射电镜样品，其特征在于，所述油性材料为红色油性油墨。
6.一种如权利要求1至4任一项所述的平面透射电镜样品的制备方法，其特征在于，所述方法包括：
将初始样品截面加工到距离目标较近的位置；
将初始样品的目标表面涂上一层透光的油性材料；
使用激光在初始样品上标记出目标位置；
将初始样品正面及背面切割和减薄形成样品本体。
7.如权利要求6所述的平面透射电镜样品的制备方法，其特征在于，还包括，提取样品本体放入平面透射电镜分析。
8.如权利要求7所述的平面透射电镜样品的制备方法，其特征在于，通过聚焦离子束完成初始样品正面及背面切割和减薄。
9.如权利要求8所述的平面透射电镜样品的制备方法，其特征在于，样品截面在加工后还包括平整工序。
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