[发明专利]一种双扩散炉管系统

权利要求书

1.一种双扩散炉管系统，其特征在于，所述系统主要包括：前开口接口机械标准子系统、第一炉管和规格小于所述第一炉管的第二炉管；

通过所述前开口接口机械标准子系统对若干个被预定的晶圆的批次数量进行判断；

若所述批次数量大于2，则该若干个被预定的晶圆全部被运送至所述第一炉管中进行后续处理；

若所述批次数量小于或等于2，则该若干个被预定的晶圆全部被运送至所述第二炉管中进行后续处理。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括晶舟加载台、运载传送平台和缓冲室；

所述若干个被预定的晶圆位于所述若干个晶圆盒内，所述晶圆盒被放置于所述晶舟加载台上，通过所述运载传送平台将所述晶圆盒运送至所述缓冲室中，以等待所述前开口接口机械标准子系统的操作。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述系统还包括一晶圆传送装置，通过所述晶圆传送装置将晶圆运送至所述第一炉管或所述第二炉管中。

4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一炉管和所述第二炉管中均包括有加热器、晶舟和真空系统。

5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述第一炉管中的晶舟具有143个用于放置晶圆的位置；所述第二炉管中的晶舟具有61个用于放置晶圆的位置。

6.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述第一炉管和所述第二炉管中还均包括有晶舟升降装置、气体注入装置和热绝缘罩。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述热绝缘罩位于所述第一炉管和所述第二炉管的最外部。

8.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述真空系统包括真空管、内部管道和外部管道。