[发明专利]高气密性机电装置壳体

权利要求书

1.高气密性机电装置壳体，其特征在于：壳体具有底板、框体壁和壳体盖，这些部件的基材以及它们之间的连接处的基材是金属、玻璃和陶瓷中的一种及以上，这些部件之间的连接处的至少一处，使用螺纹，挤压空芯金属密封圈，进行密封，其它连接处，使用焊锡焊接加工工艺、金属焊接加工工艺、玻璃焊接加工工艺和陶瓷成形烧结加工工艺中的一种及以上，进行密封。

2.根据权利要求1所述的高气密性机电装置壳体，其特征在于：所述壳体具有窗口玻璃、管道、连通内外的粗电极和细电极中的一种及以上，这些部件的基材，以及它们与所述底板、框体壁和壳体盖之间的连接处的基材是金属、玻璃和陶瓷中的一种及以上，在这些部件之间的连接处，使用焊锡焊接加工工艺、金属焊接加工工艺、玻璃焊接加工工艺、陶瓷成形烧结加工工艺和空芯金属密封圈加压密封工艺中的一种及以上，进行密封。

3.根据权利要求1或2所述的高气密性机电装置壳体，其特征在于：所述底板和框体壁是一体的部件，或框体壁和壳体盖是一体的部件。

4.根据权利要求1至3所述的任一种高气密性机电装置壳体，其特征在于：在所述底板、框体壁和壳体盖中的一种及以上，开设有用于安装机电元器件的壳体内部螺纹盲孔和壳体外部螺纹盲孔中的一种及以上。

5.根据权利要求2所述的高气密性机电装置壳体，其特征在于：在壳体外部的所述管道的密封工艺是，加热熔实、钳断、或连接阀门进行关闭。

6.高气密性机电装置壳体，其特征在于：壳体具有管道接口，该管道接口连接密封时隔绝管道接口内外的各部件基材是金属、玻璃和陶瓷中的一种及以上，使用螺纹推进运动部件，直行或旋转方式，挤压空芯金属密封圈，进行连接密封。

7.高气密性机电装置壳体，其特征在于：壳体具有可开通与关闭的阀门，该阀门关闭时隔绝阀门内外的各部件基材是金属、玻璃和陶瓷中的一种及以上，使用螺纹推进或电动推进阀门运动部件，直行或旋转方式，挤压或松开阀门内部的空芯金属密封圈，进行关闭或开通阀门。

8.根据权利要求1至7所述的任一种高气密性机电装置壳体，其特征在于：两个及以上的壳体，通过使用管道、所述管道接口和所述阀门中的一种及以上，进行连接密封。

9.根据权利要求1至8所述的任一种高气密性机电装置壳体，其特征在于：所述空芯金属密封圈是C型、弹簧增强C型、E型、W型、O型、U型和V型中的一种及以上。

10.根据权利要求1至9所述的任一种高气密性机电装置壳体，其特征在于：在所述壳体内部，封入真空、氮气、惰性气体、冷媒气液体和液体中的一种及以上。