[发明专利]真空截止阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空截止阀。更具体地涉及一种能够对供给腔洗涤气体的管子进行选择性的阻隔，通过最大限度地减少安装在用于阻隔管道的阻隔部的密封部件的磨损，从而有效地维持腔内部的真空状态的真空截止阀。

背景技术

一般而言，半导体或液晶显示装置（LCD）制作工序等需要精密作业的工序通常在如腔等与外部阻隔并始终保持一定温度的空间内实施。当在腔的内部完成处理工序时，将在腔的内部残留因处理气体导致的异物，向腔的内部注入腔洗涤气体，去除残留在腔的内部的异物。此时，腔通过管道等独立的连接机构与洗涤气体电离模块相连接，从而获得在洗涤气体电离模块中实现电离的腔洗涤气体。

在洗涤气体电离模块中实现电离的腔洗涤气体，为了加强工序的处理量并提高洗涤率，被使用三氟化氮（NF3）。但，当洗涤气体电离模块在对三氟化氮实施电离的过程中，因三氟化氮的氮（N）和氟（F）的离子，将发生腐蚀及故障等。因此，应定期或不定期地更换洗涤气体电离模块。

针对腔而言，为了确保工序的效率化，腔内部的状态需要维持工序进行状态，因此在更换洗涤气体电离模块期间内，也应保持与外部阻隔的状态。即，腔应保持内部的真空并且防止内部的空气和热量外泄。在更换洗涤气体电离模块期间内，如果腔内部的空气及热量外泄，则腔内部的真空状态及温度将发生变化，从而导致腔内部的工序进行状态发生改变。当腔内部的工序进行状态发生变化时，应重新提升腔内部的温度，使其达到适合内部腔内部洗涤、真空及工序的温度。这将导致工序时间的延迟，从而明显地降低整体工序的产率。

但，根据以往的方式，不存在独立的装备能够做到通过安装于腔和洗涤气体电离模块相连接的管道并选择性地阻隔管道，从而保持腔与外部阻隔的状态，因此，在更换洗涤气体电离模块的情况下，存在着腔将无法保持与外部阻隔的状态的问题。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种对腔和腔洗涤气体供给部相连接的管道进行选择性地阻隔，从而能够易于保持腔与外部阻隔的状态的真空截止阀。

本发明的目的不受限于上述提及的内容，本领域技术人员能够通过下述记载明确了解未提及的其他目的。

为了解决上述问题，根据本发明的实施例的真空截止阀，包括：外罩部，设置于腔和腔洗涤气体供给部之间，形成用于连接上述腔和上述腔洗涤气体供给部使其相连通的管道；管道阻隔部，形成于上述管道的预定位置，用于选择性地阻隔管道；第一阻隔部，设置于上述外罩部，沿着第一方向移动并选择性地阻隔上述管道阻隔部的开放的第一面，确保上述腔和上述腔洗涤气体供给部保持相连通的状态；第二阻隔部，设置于上述外罩部，在上述第一阻隔部沿着上述第一方向移动的情况下，沿着第二方向移动并施压于上述第一阻隔部，确保上述腔和上述腔洗涤气体供给部保持相连通的状态，而在上述第一阻隔部沿着上述第一方向的相反方向移动的情况下，沿着上述第二方向移动并通过上述第一面来插入到上述管道阻隔部，紧贴于上述第一面的对置面并阻隔上述管道，从而阻隔上述腔和上述腔洗涤气体供给部的连通。

并且，上述第一方向和上述第二方向能够相互垂直。

并且，在配置于上述管道阻隔部的上述第一面的对置方向的上述管道阻隔部的第二面，能够形成有第一开口部用于通过从上述腔洗涤气体供给部所供给的腔洗涤气体，在与上述第二面相邻的上述腔洗涤气体的第三面，能够形成有第二开口部用于通过上述腔洗涤气体。

并且，在上述第一阻隔部沿着上述第一方向的相反方向移动的情况下，上述第二阻隔部沿着上述第二方向移动，通过上述第一面插入到上述管道阻隔部并紧贴于上述第二面，从而能够封堵上述第一开口部。

并且，上述外罩部具有从上述第一面延伸而形成的第一安装孔和从上述第一安装孔分支而形成的第二安装孔，上述第一安装孔和上述第二安装孔能够相互垂直地形成于上述外罩部。

并且，上述第一阻隔部能够具有主体部，从上述第二安装孔的一端部延伸，固定地设置于上述外罩部；第一移动部，设置于上述主体部的内部，可沿着上述第一方向移动；关节部件，与第一移动部的一侧相结合，可沿着上述第一方向移动；第一开闭部，通过与上述关节部件的一侧相结合而沿着上述第一方向移动，选择性地阻隔上述管道阻隔部的上述第一面。

并且，上述主体部的内部能够以空心形状形成，确保与上述第二安装孔相连通。