[发明专利]MEMS振子及其制造方法、电子设备以及移动体无效
| 申请号： | 201410063348.5 | 申请日： | 2014-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN104022752A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 衣川拓也;山田明法 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/24;H03H3/02;G06F1/16;H04M1/02;H04N5/225 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;马建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 及其 制造 方法 电子设备 以及 移动 | ||
1.一种MEMS振子，其特征在于，该MEMS振子具有：
绝缘部；
设置于所述绝缘部的一个面的第1电极、固定部和功能部；以及
第2电极，其被设置成在从与所述一个面垂直的方向俯视时，至少一部分隔着间隙与所述第1电极重叠，
所述第2电极与所述功能部抵接，从所述固定部起延伸设置。
2.根据权利要求1所述的MEMS振子，其特征在于，
在所述绝缘部的一个面上，从所述固定部起延伸设置有布线。
3.根据权利要求2所述的MEMS振子，其特征在于，
所述第2电极、所述固定部和所述布线包含相同的材料。
4.一种MEMS振子的制造方法，其特征在于，该制造方法包含以下工序：
形成绝缘部；
在所述绝缘部的一个面上形成第1电极、固定部和功能部；以及
以在从与所述一个面垂直的方向俯视时至少一部分隔着间隙与所述第1电极重叠的方式形成第2电极，
在形成所述第2电极的工序中，所述第2电极与所述功能部抵接，以从所述固定部起延伸的方式形成所述第2电极。
5.一种MEMS振子，其特征在于，该MEMS振子具有：
绝缘部；
设置于所述绝缘部的一个面的第1电极、固定部和功能部；
第2电极，其被设置成在从与所述一个面垂直的方向俯视时，至少一部分隔着间隙与所述第1电极重叠；以及
梁部，其从所述第2电极起朝向所述固定部延伸设置，
所述梁部与所述功能部抵接。
6.一种MEMS振子的制造方法，其特征在于，该制造方法包含以下工序：
形成绝缘部；
在所述绝缘部的一个面上形成第1电极、固定部和功能部；以及
以在从与所述一个面垂直的方向俯视时至少一部分隔着间隙与所述第1电极重叠的方式形成第2电极，并且，形成从所述第2电极起朝向所述固定部延伸设置的梁部，
在形成所述第2电极和所述梁部的工序中，以与所述功能部抵接的方式形成所述梁部。
7.一种电子设备，其特征在于，该电子设备搭载有权利要求1或5所述的MEMS振子。
8.一种移动体，其特征在于，该移动体搭载有权利要求1或5所述的MEMS振子。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410063348.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
