[发明专利]一种低温高效制备石墨烯增强铜基复合钎料的方法

权利要求书

1.一种低温高效制备石墨烯增强铜基复合钎料的方法，其特征在于一种低温高效制备石墨烯增强铜基复合钎料的方法是按照以下步骤进行的：

一、将铜粉置于等离子体增强化学气相沉积真空装置中，抽真空至压强为5Pa以下，以气体流量为18sccm～22sccm通入氢气，调节抽真空速度将等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强控制为190Pa～210Pa，并在压强为190Pa～210Pa和氢气气氛下40min内将温度升温至为500℃～700℃，并在温度为500℃～700℃下保温25min～35min；

二、通入氩气和碳源气体，调节氢气的气体流量为40sccm、氩气气体流量为80sccm、碳源气体的气体流量为1sccm～8sccm，并调节抽真空速度将等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强控制为800Pa～1000Pa，然后在沉积系统射频电源频率为13.56MHz、射频功率为190W～210W、压强为800Pa～1000Pa和温度为500℃～700℃条件下进行沉积，沉积时间为10s～300s，沉积结束后，关闭射频电源和加热电源，停止通入碳源气体，继续以氢气的气体流量为40sccm、氩气气体流量为80sccm通入氢气和氩气，并调节抽真空速度将等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强控制为150Pa～200Pa，在压强为150Pa～200Pa和氢气及氩气气氛下从温度为500℃～700℃冷却至室温，即得到石墨烯/铜复合粉末；

三、将金属粉末或合金粉末与步骤二制备的石墨烯/铜复合粉末放入球磨机中，进行研磨并搅拌至粉体混合均匀，即得到石墨烯增强铜基复合钎料。

2.根据权利要求1所述的一种低温高效制备石墨烯增强铜基复合钎料的方法，其特征在于步骤一中所述的铜粉纯度为99%～99.99%，颗粒直径为100nm～100μm。

3.根据权利要求1所述的一种低温高效制备石墨烯增强铜基复合钎料的方法，其特征在于步骤二中所述的碳源气体为甲烷。

4.根据权利要求1所述的一种低温高效制备石墨烯增强铜基复合钎料的方法，其特征在于步骤三中所述的金属粉末纯度为99%～99.99%，颗粒直径为100nm～100μm；所述的合金粉末纯度为99%～99.99%，颗粒直径为100nm～100μm。

5.根据权利要求1所述的一种低温高效制备石墨烯增强铜基复合钎料的方法，其特征在于步骤三中所述的金属粉末为Sn粉末、Ag粉末、P粉末或Mn粉末。

6.根据权利要求1所述的一种低温高效制备石墨烯增强铜基复合钎料的方法，其特征在于步骤三中所述的合金粉末为Sn-Ag粉末或Ag-Zn粉末。